बफ़र्ड ऑक्साइड ईच
बफ़र्ड ऑक्साइड ईच (बीओई) जिसे बफ़र्ड एचएफ या बीएचएफ के रूप में भी जाना जाता है, ऐसी सूक्ष्म निर्मित संरचना है जिसका उपयोग माइक्रोफैब्रिकेशन में किया जाता है। इसका प्राथमिक उपयोग सिलिकॉन डाइऑक्साइड की पतली फिल्मों जैसे (SiO2) या सिलिकॉन नाइट्राइड (S3N4) को बनाने में किया जाता है, यह बफरिंग अभिकर्मक का मिश्रण है, जैसे अमोनियम फ्लोराइड (NH4F), और हाइड्रोफ्लुओरिक अम्ल (HF) इत्यादि। इस प्रकार केंद्रित HF (सामान्यतः पानी में 49% HF) को अच्छी तरह प्रक्रिया नियंत्रण के लिए सिलिकॉन डाइऑक्साइड को बहुत शीघ्रता से अन्वेशित करता है और पत्थर के मोहर से छापने के लिए विभिन्न प्रारूपों में उपयोग किए जाने वाले फोटोरेसिस्ट को भी अलग करता है। इस प्रकार से बफ़र्ड ऑक्साइड संरचना को सामान्यतः अधिक नियंत्रण करने वाली संरचना के लिए उपयोग किया जाता है।[1]
कुछ ऑक्साइड HF इसके समीकरण में अघुलनशील उत्पादों का उत्पादन करते हैं। इस प्रकार इन अघुलनशील उत्पादों को भंग करने और उच्च गुणवत्ता वाले संरचना का उत्पादन करने के लिए एचसीएल को अधिकांशतः बीएचएफ समीकरण में जोड़ता हैं।[2] इस प्रकार किसी सामान्य बफ़र्ड ऑक्साइड ईच समाधान में 40% NH4F पानी में 49% HF पानी में का 6: 1 मात्रा अनुपात सम्मिलित है। यह घोल 25 डिग्री सेल्सियस पर लगभग 2 नैनोमीटर प्रति सेकंड की दर से ऊष्मीय ऑक्सीकरण करता हैं।[1] इस संरचना दर को बढ़ाने के लिए तापमान बढ़ाया जा सकता है। इस प्रकार इस संरचना की प्रक्रिया के समय विलयन को क्रमशः हिलाते रहने से अधिक सजातीय विलयन प्राप्त करने में सहायता मिलती है, जो सतह से संरचनादार सामग्री को हटाकर अधिक समान रूप से अन्वेशित कर सकता है।
संदर्भ
- ↑ 1.0 1.1 Wolf, Stanley; Tauber, Richard (1986). Silicon Processing for the VLSI Era: Volume 1 - Process Technology. pp. 532–533. ISBN 978-0-9616721-3-3.
- ↑ Iliescua, Ciprian; Jing, Ji; Tay, Francis; Miao, Jianmin; Sun, Tietun (Aug 2005). "Characterization of masking layers for deep wet etching of glass in an improved HF/HCl solution". J. Surf. Coat. 198 (1–3): 314. doi:10.1016/j.surfcoat.2004.10.094.
