माइक्रोपम्प: Difference between revisions

From Vigyanwiki
No edit summary
 
(7 intermediate revisions by 2 users not shown)
Line 1: Line 1:
[[File:TiCrPt micropump3.webm|thumb|एक Ti-Cr-Pt ट्यूब (~ 40 माइक्रोन लंबी) [[ हाइड्रोजन पेरोक्साइड ]] (उत्प्रेरक अपघटन) में डूबे रहने पर ऑक्सीजन के बुलबुले छोड़ती है। प्रवाह कैनेटीक्स का अध्ययन करने के लिए [[ polystyrene ]] क्षेत्रों (1 माइक्रोन व्यास) को जोड़ा गया था।<ref>{{cite journal|doi=10.1039/C1CP20542K|pmid=21505711|title=हाइड्रोजन पेरोक्साइड की कम सांद्रता पर काम करने वाले ट्यूनेबल कैटेलिटिक ट्यूबलर माइक्रो-पंप|journal=Physical Chemistry Chemical Physics|volume=13|issue=21|pages=10131–5|year=2011|last1=Solovev|first1=Alexander A.|last2=Sanchez|first2=Samuel|last3=Mei|first3=Yongfeng|last4=Schmidt|first4=Oliver G.|s2cid=21754449|bibcode=2011PCCP...1310131S}}</ref>]]
[[File:TiCrPt micropump3.webm|thumb|एक Ti-Cr-Pt ट्यूब (~ 40 माइक्रोन लंबी) [[ हाइड्रोजन पेरोक्साइड ]] (उत्प्रेरक अपघटन) में डूबे रहने पर ऑक्सीजन के बुलबुले छोड़ती है। प्रवाह कैनेटीक्स का अध्ययन करने के लिए [[ polystyrene ]] क्षेत्रों (1 माइक्रोन व्यास) को जोड़ा गया था।<ref>{{cite journal|doi=10.1039/C1CP20542K|pmid=21505711|title=हाइड्रोजन पेरोक्साइड की कम सांद्रता पर काम करने वाले ट्यूनेबल कैटेलिटिक ट्यूबलर माइक्रो-पंप|journal=Physical Chemistry Chemical Physics|volume=13|issue=21|pages=10131–5|year=2011|last1=Solovev|first1=Alexander A.|last2=Sanchez|first2=Samuel|last3=Mei|first3=Yongfeng|last4=Schmidt|first4=Oliver G.|s2cid=21754449|bibcode=2011PCCP...1310131S}}</ref>]]
[[File:Blood micropump.webm|thumb|इलेक्ट्रोकेमिकल माइक्रोपम्प 50×100 माइक्रोन पाइप के माध्यम से मानव रक्त के प्रवाह को सक्रिय करता है।<ref>{{cite journal|pmid=19458858|doi= 10.1039/B900139E |year= 2009 |last1= Chiu |first1= S. H. |title= ऑन-चिप रक्त परिवहन के लिए एक एयर-बबल-एक्ट्यूएटेड माइक्रोपम्प|journal= Lab on a Chip |volume= 9 |issue= 11 |pages= 1524–33 |last2= Liu |first2= C. H. |s2cid= 38015356 }}</ref>]]माइक्रोपंप ऐसे उपकरण हैं जो तरल पदार्थ की छोटी मात्रा को नियंत्रित और हेरफेर कर सकते हैं।<ref name=":6">{{Cite journal|date=2021-10-15|title=दवा वितरण आवेदन के लिए सूक्ष्म खुराक - एक समीक्षा|url=https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0924424721002831|journal=Sensors and Actuators A: Physical|language=en|volume=330|pages=112820|doi=10.1016/j.sna.2021.112820|issn=0924-4247|doi-access=free}}</ref><ref>{{Cite journal|last1=Laser|first1=D. J.|last2=Santiago|first2=J. G.|s2cid=35703576|date=2004|title=माइक्रोपंप की समीक्षा|journal=Journal of Micromechanics and Microengineering|language=en|volume=14|issue=6|pages=R35|doi=10.1088/0960-1317/14/6/R01|issn=0960-1317|bibcode=2004JMiMi..14R..35L}}</ref> हालांकि किसी भी छोटे [[ पंप |पंप]] को अक्सर एक माइक्रोपम्प के रूप में संदर्भित किया जाता है, एक अधिक सटीक परिभाषा इस शब्द को माइक्रोमीटर रेंज में कार्यात्मक आयामों वाले पंपों तक सीमित करती है। ऐसे पंप माइक्रोफ्लुइडिक अनुसंधान में विशेष महत्व रखते हैं और हाल के वर्षों में औद्योगिक उत्पाद एकीकरण के लिए उपलब्ध हो गए हैं। मौजूदा लघु पंपों की तुलना में उनका छोटा समग्र आकार, संभावित लागत और बेहतर खुराक सटीकता इस अभिनव पंप में बढ़ती रुचि को बढ़ावा देती है।<ref name=":6" /><ref>{{cite journal|author= Nguyen|display-authors=etal|title= एमईएमएस-माइक्रोपंप: एक समीक्षा|journal= Journal of Fluids Engineering |volume= 124|issue= 2|pages= 384–392|year= 2002|doi= 10.1115/1.1459075}}</ref><ref name=":1">{{cite journal|author= Iverson|display-authors=etal|title= सूक्ष्म पम्पिंग प्रौद्योगिकियों में हालिया प्रगति: एक समीक्षा और मूल्यांकन|journal= Microfluid Nanofluid |volume= 5|issue= 2|pages= 145–174|year= 2008|doi= 10.1007/s10404-008-0266-8|s2cid=44242994|url=http://docs.lib.purdue.edu/cgi/viewcontent.cgi?article=1080&context=nanopub}}</ref><ref>{{cite journal|author=Amirouche|display-authors=etal|title= वर्तमान माइक्रोपंप प्रौद्योगिकियां और उनके जैव चिकित्सा अनुप्रयोग|journal= Microsystem Technologies |volume= 15|issue= 5|pages= 647–666|year= 2009|doi= 10.1007/s00542-009-0804-7|s2cid=108575489}}</ref>
माइक्रोपंप ऐसे उपकरण हैं जो तरल पदार्थ की छोटी मात्रा को नियंत्रित और हेरफेर कर सकते हैं।<ref name=":6">{{Cite journal|date=2021-10-15|title=दवा वितरण आवेदन के लिए सूक्ष्म खुराक - एक समीक्षा|url=https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0924424721002831|journal=Sensors and Actuators A: Physical|language=en|volume=330|pages=112820|doi=10.1016/j.sna.2021.112820|issn=0924-4247|doi-access=free}}</ref><ref>{{Cite journal|last1=Laser|first1=D. J.|last2=Santiago|first2=J. G.|s2cid=35703576|date=2004|title=माइक्रोपंप की समीक्षा|journal=Journal of Micromechanics and Microengineering|language=en|volume=14|issue=6|pages=R35|doi=10.1088/0960-1317/14/6/R01|issn=0960-1317|bibcode=2004JMiMi..14R..35L}}</ref> हालांकि किसी भी छोटे [[ पंप |पंप]] को अक्सर एक माइक्रोपम्प के रूप में संदर्भित किया जाता है, एक अधिक सटीक परिभाषा इस शब्द को माइक्रोमीटर रेंज में कार्यात्मक आयामों वाले पंपों तक सीमित करती है। ऐसे पंप माइक्रोफ्लुइडिक अनुसंधान में विशेष महत्व रखते हैं और हाल के वर्षों में औद्योगिक उत्पाद एकीकरण के लिए उपलब्ध हो गए हैं। मौजूदा लघु पंपों की तुलना में उनका छोटा समग्र आकार, संभावित लागत और बेहतर खुराक सटीकता इस अभिनव पंप में बढ़ती रुचि को बढ़ावा देती है।<ref name=":6" /><ref>{{cite journal|author= Nguyen|display-authors=etal|title= एमईएमएस-माइक्रोपंप: एक समीक्षा|journal= Journal of Fluids Engineering |volume= 124|issue= 2|pages= 384–392|year= 2002|doi= 10.1115/1.1459075}}</ref><ref name=":1">{{cite journal|author= Iverson|display-authors=etal|title= सूक्ष्म पम्पिंग प्रौद्योगिकियों में हालिया प्रगति: एक समीक्षा और मूल्यांकन|journal= Microfluid Nanofluid |volume= 5|issue= 2|pages= 145–174|year= 2008|doi= 10.1007/s10404-008-0266-8|s2cid=44242994|url=http://docs.lib.purdue.edu/cgi/viewcontent.cgi?article=1080&context=nanopub}}</ref><ref>{{cite journal|author=Amirouche|display-authors=etal|title= वर्तमान माइक्रोपंप प्रौद्योगिकियां और उनके जैव चिकित्सा अनुप्रयोग|journal= Microsystem Technologies |volume= 15|issue= 5|pages= 647–666|year= 2009|doi= 10.1007/s00542-009-0804-7|s2cid=108575489}}</ref>
== परिचय और इतिहास ==
== परिचय और इतिहास ==


1970 के दशक के मध्य में पहले वास्तविक माइक्रोपम्प्स की सूचना मिली थी,<ref>Thomas, L. J. and Bessman, S. P. (1975) "Micropump powered by piezoelectric disk benders", {{US Patent|3963380}}</ref> लेकिन 1980 के दशक में इसके प्रभाव ने आकर्षित किया, जब जेन स्मट्स और हेराल्ड वैन लिंटेल ने [[ माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम |माइक्रोइलेक्ट्रोयांत्रिक प्रणाली (एमईएमएस)]] माइक्रोपंप विकसित किए।<ref name=":3">{{cite journal|author=Woias, P|doi=10.1016/j.snb.2004.02.033|title= माइक्रोपंप - पिछली प्रगति और भविष्य की संभावनाएं|journal= Sensors and Actuators B. |volume=105|issue= 1|pages=28–38|year=2005}}</ref> 1990 के दशक में अधिकांश मौलिक एमईएमएस माइक्रोपंप का काम किया गया था। हाल ही में, गैर-यांत्रिक माइक्रोपंप डिजाइन करने के प्रयास किए गए हैं जो बाहरी शक्ति पर भरोसा किए बिना दूरस्थ स्थानों में संचालित होते हैं।
1970 के दशक के मध्य में पहले वास्तविक माइक्रोपम्प्स की सूचना मिली थी,<ref>Thomas, L. J. and Bessman, S. P. (1975) "Micropump powered by piezoelectric disk benders", {{US Patent|3963380}}</ref> लेकिन 1980 के दशक में इसके प्रभाव ने आकर्षित किया, जब जेन स्मट्स और हेराल्ड वैन लिंटेल ने [[ माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम |माइक्रोइलेक्ट्रोयांत्रिक प्रणाली (एमईएमएस)]] माइक्रोपंप विकसित किए।<ref name=":3">{{cite journal|author=Woias, P|doi=10.1016/j.snb.2004.02.033|title= माइक्रोपंप - पिछली प्रगति और भविष्य की संभावनाएं|journal= Sensors and Actuators B. |volume=105|issue= 1|pages=28–38|year=2005}}</ref> 1990 के दशक में अधिकांश मौलिक एमईएमएस माइक्रोपंप का काम किया गया था। हाल ही में, गैर-यांत्रिक माइक्रोपंप डिजाइन करने के प्रयास किए गए हैं जो बाहरी शक्ति पर भरोसा किए बिना दूरस्थ स्थानों में संचालित होते हैं।
[[File:Pump cycle diagram for peristaltic micropump.svg|thumb|एक आरेख दिखाता है कि किस प्रकार श्रृंखला में तीन माइक्रोवाल्व का उपयोग द्रव को विस्थापित करने के लिए किया जा सकता है। चरण (ए) में, पहले वाल्व में प्रवेश से द्रव खींचा जाता है। चरण (बी) - (ई) चरण (एफ) में द्रव पदार्थ को निर्गम की ओर निष्कासित करने से पहले, द्रव को अंतिम वाल्व में ले जाएं।]]
== प्रकार और तकनीक ==
== प्रकार और तकनीक ==
माइक्रोफ्लुइडिक दुनिया के भीतर, भौतिक नियम अपना रूप बदलते हैं।<ref>[http://www.cafefoundation.org/v2/pav_orderfromchaos.php Order from Chaos] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20080723165004/http://www.cafefoundation.org/v2/pav_orderfromchaos.php |date=2008-07-23 }}, The CAFE Foundation</ref> उदाहरण के लिए, वजन या जड़ता जैसे वॉल्यूमेट्रिक बल अक्सर नगण्य हो जाते हैं, जबकि सतही बल तरल व्यवहार पर हावी हो सकते हैं,<ref>{{Cite journal|last1=Thomas|first1=D. J.|last2=Tehrani|first2=Z.|last3=Redfearn|first3=B.|date=2016-01-01|title=पहनने योग्य बायोमेडिकल अनुप्रयोगों के लिए 3-डी मुद्रित समग्र माइक्रोफ्लुइडिक पंप|url=http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S221486041530004X|journal=Additive Manufacturing|language=en|volume=9|pages=30–38|doi=10.1016/j.addma.2015.12.004|issn=2214-8604}}</ref> खासकर जब तरल पदार्थ में गैस सम्मिलित हो। केवल कुछ अपवादों के साथ, माइक्रोपंप माइक्रो-एक्ट्यूएशन सिद्धांतों पर भरोसा करते हैं, जो यथोचित रूप से केवल एक निश्चित आकार तक ही बढ़ाए जा सकते हैं।
माइक्रोफ्लुइडिक दुनिया के भीतर, भौतिक नियम अपना रूप बदलते हैं।<ref>[http://www.cafefoundation.org/v2/pav_orderfromchaos.php Order from Chaos] {{webarchive|url=https://web.archive.org/web/20080723165004/http://www.cafefoundation.org/v2/pav_orderfromchaos.php |date=2008-07-23 }}, The CAFE Foundation</ref> उदाहरण के लिए, वजन या जड़ता जैसे वॉल्यूमेट्रिक बल अक्सर नगण्य हो जाते हैं, जबकि सतही बल तरल व्यवहार पर हावी हो सकते हैं,<ref>{{Cite journal|last1=Thomas|first1=D. J.|last2=Tehrani|first2=Z.|last3=Redfearn|first3=B.|date=2016-01-01|title=पहनने योग्य बायोमेडिकल अनुप्रयोगों के लिए 3-डी मुद्रित समग्र माइक्रोफ्लुइडिक पंप|url=http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S221486041530004X|journal=Additive Manufacturing|language=en|volume=9|pages=30–38|doi=10.1016/j.addma.2015.12.004|issn=2214-8604}}</ref> खासकर जब तरल पदार्थ में गैस सम्मिलित हो। केवल कुछ अपवादों के साथ, माइक्रोपंप माइक्रो-एक्ट्यूएशन सिद्धांतों पर भरोसा करते हैं, जो यथोचित रूप से केवल एक निश्चित आकार तक ही बढ़ाए जा सकते हैं।
Line 15: Line 13:
==== डायाफ्राम माइक्रोपंप ====
==== डायाफ्राम माइक्रोपंप ====


एक डायाफ्राम माइक्रोपम्प एक तरल पदार्थ को चलाने के लिए एक डायाफ्राम के बार-बार क्रियान्वित करने का उपयोग करता है। झिल्ली एक मुख्य पंप वाल्व के ऊपर स्थित होती है, जो इनलेट और आउटलेट माइक्रोवॉल्व के बीच केंद्रित होती है। जब झिल्ली को कुछ प्रेरक बल के माध्यम से ऊपर की ओर विक्षेपित किया जाता है, तो तरल पदार्थ को इनलेट वाल्व में मुख्य पंप वाल्व में खींचा जाता है। फिर झिल्ली को नीचे उतारा जाता है, आउटलेट वाल्व के माध्यम से तरल पदार्थ को बाहर निकाला जाता है। तरल पदार्थ को लगातार पंप करने के लिए यह प्रक्रिया दोहराई जाती है।<ref name=":1" />
एक डायाफ्राम माइक्रोपम्प एक तरल पदार्थ को चलाने के लिए एक डायाफ्राम के बार-बार क्रियान्वित करने का उपयोग करता है। झिल्ली एक मुख्य पंप वाल्व के ऊपर स्थित होती है, जो इनलेट और आउटलेट माइक्रोवॉल्व के बीच केंद्रित होती है। जब झिल्ली को कुछ प्रेरक बल के माध्यम से ऊपर की ओर विक्षेपित किया जाता है, तो तरल पदार्थ को इनलेट वाल्व में मुख्य पंप वाल्व में खींचा जाता है फिर झिल्ली को नीचे उतारा जाता है, आउटलेट वाल्व के माध्यम से तरल पदार्थ को बाहर निकाला जाता है। तरल पदार्थ को लगातार पंप करने के लिए यह प्रक्रिया दोहराई जाती है।<ref name=":1" />
===== दाब वैद्युत् माइक्रोपंप =====
===== पीजोइलेक्ट्रिक माइक्रोपंप =====
दाब वैद्युत् माइक्रोपम्प सबसे साधारण  प्रकार के विस्थापन पारस्परिक झिल्ली पंपों में से एक है। दाब वैद्युत् चालित माइक्रोपंप लागू वोल्टेज के जवाब में विकृत करने के लिए दाब मृत्तिका कृति की विद्युत् यांत्रिक आलेखित्र पर भरोसा करते हैं। झिल्ली से जुड़ी दाब वैद्युत् चक्र बाहरी अक्षीय विद्युत क्षेत्र द्वारा संचालित झिल्ली विक्षेपण का कारण बनती है और इस प्रकार माइक्रोपम्प के कक्ष का विस्तार और संकुचन करती है।<ref name=":2">{{cite journal|author=Laser and Santiago|s2cid=35703576|year=2004|title=माइक्रोपंप की समीक्षा|journal=J. Micromech. Microeng.|volume=14|issue=6|pages=R35–R64|bibcode=2004JMiMi..14R..35L|doi=10.1088/0960-1317/14/6/R01}}</ref> इस यांत्रिक तनाव के परिणामस्वरूप कक्ष में दबाव में भिन्नता होती है, जिससे द्रव का प्रवाह और बहिर्वाह होता है। प्रवाह दर को सामग्री की ध्रुवीकरण सीमा और दाब पर लागू वोल्टेज द्वारा नियंत्रित किया जाता है।<ref name=":5">{{Cite journal|last1=Mohith|first1=S.|last2=Karanth|first2=P. Navin|last3=Kulkarni|first3=S. M.|date=2019-06-01|title=मैकेनिकल माइक्रोपंप और उनके अनुप्रयोगों में हाल के रुझान: एक समीक्षा|journal=Mechatronics|volume=60|pages=34–55|doi=10.1016/j.mechatronics.2019.04.009|issn=0957-4158}}</ref> अन्य प्रवर्तक सिद्धांतों की तुलना में दाब वैद्युत् प्रवर्तक उच्च आघात ध्वनि, उच्च प्रवर्तक बल और तेज यांत्रिक प्रतिक्रिया को सक्षम बनाता है, चूकी तुलनात्मक रूप से उच्च प्रवर्तक वोल्टेज और दाब मृत्तिका कृति  की जटिल आलंबन प्रक्रिया की आवश्यकता होती है।<ref name=":3" />
पीजोइलेक्ट्रिक माइक्रोपंप सबसे आम प्रकार के विस्थापन प्रत्यागामी डायाफ्राम पंपों में से एक है। पीजोइलेक्ट्रिक संचालित माइक्रोपंप लागू वोल्टेज के जवाब में विकृत होने के लिए पीजो सिरेमिक की विद्युत यांत्रिक संपत्ति पर निर्भर करते हैं। झिल्ली से जुड़ी पीजोइलेक्ट्रिक डिस्क बाहरी अक्षीय विद्युत क्षेत्र द्वारा संचालित डायाफ्राम विक्षेपण का कारण बनती है और इस प्रकार माइक्रोपम्प के कक्ष का विस्तार और संकुचन करती है।<ref name=":2">{{cite journal|author=Laser and Santiago|s2cid=35703576|year=2004|title=माइक्रोपंप की समीक्षा|journal=J. Micromech. Microeng.|volume=14|issue=6|pages=R35–R64|bibcode=2004JMiMi..14R..35L|doi=10.1088/0960-1317/14/6/R01}}</ref> इस यांत्रिक तनाव के परिणामस्वरूप कक्ष में दबाव भिन्नता होती है, जो द्रव के प्रवाह और बहिर्वाह का कारण बनती है। प्रवाह दर सामग्री की ध्रुवीकरण सीमा और पीजो पर लागू वोल्टेज द्वारा नियंत्रित होती है।<ref name=":5">{{Cite journal|last1=Mohith|first1=S.|last2=Karanth|first2=P. Navin|last3=Kulkarni|first3=S. M.|date=2019-06-01|title=मैकेनिकल माइक्रोपंप और उनके अनुप्रयोगों में हाल के रुझान: एक समीक्षा|journal=Mechatronics|volume=60|pages=34–55|doi=10.1016/j.mechatronics.2019.04.009|issn=0957-4158}}</ref> अन्य एक्चुएशन सिद्धांतों की तुलना में पीजोइलेक्ट्रिक एक्चुएशन उच्च स्ट्रोक वॉल्यूम, उच्च एक्चुएशन बल और तेज यांत्रिक प्रतिक्रिया को सक्षम बनाता है, हालांकि इसके लिए पीजो सिरेमिक की तुलनात्मक रूप से उच्च एक्चुएशन वोल्टेज और जटिल माउंटिंग प्रक्रिया की आवश्यकता होती है।<ref name=":3" />
 
3.5x3.5x0.6 मिमी . के आयामों के साथ सबसे छोटा दाब वैद्युत् माइक्रोपम्प<sup>3</sup> को फ्रौनहोफर EMFT द्वारा विकसित किया गया था<ref>{{Cite web|url=https://www.emft.fraunhofer.de/en/mediacenter/press-briefings/micropatchpump_PI.html|title=लघुकृत सूक्ष्म पैच पंप - फ्रौनहोफर ईएमएफटी|website=Fraunhofer Research Institution for Microsystems and Solid State Technologies EMFT|language=en|access-date=2019-12-03}}</ref> MEMS और माइक्रोइलेक्ट्रोयांत्रिक प्रौद्योगिकियां प्रणाली पर ध्यान केंद्रित करने वाला विश्व प्रसिद्ध अनुसंधान संगठन है। माइक्रोपंप में तीन सिलिकॉन परतें होती हैं, जिनमें से एक पंप झिल्ली के रूप में ऊपर से पंप कक्ष को सीमित करता है, जबकि दो अन्य मध्य वाल्व चिप और नीचे वाल्व चिप का प्रतिनिधित्व करते हैं। प्रवेश और निर्गम पर निष्क्रिय झिल्ली वाल्व के उद्घाटन प्रवाह की दिशा के अनुसार उन्मुख होते हैं। पंप झिल्ली दाब में एक नकारात्मक वोल्टेज के आवेदन के साथ फैलता है जिससे पंप कक्ष में द्रव पदार्थ को चूसने के लिए नकारात्मक दबाव पैदा होता है। जबकि धनात्मक वोल्टेज इसके विपरीत झिल्ली को नीचे ले जाता है, जिसके परिणामस्वरूप निर्गम वाल्व अधिक दबाव में खुल जाता है और द्रव को कक्ष से बाहर निकाल देता है।
 
[[File:Back Pressure Capability of the Silicon Piezoelectric Micropump.png|thumb|right|upright=2|3.5x3.5mm . का बैक प्रेशर परफॉर्मेंस<sup>2</sup> सिलिकॉन दाब वैद्युत् चालित माइक्रोपंप]]


[[File:Fraunhofer EMFT silicon piezoelectric micropump. Pumping principle.gif|thumb|right|प्रवेश और निर्गम पर निष्क्रिय लोलक वाल्व के उद्घाटन प्रवाह की दिशा के अनुसार उन्मुख होते हैं। पंप झिल्ली दाब में एक नकारात्मक वोल्टेज के आवेदन के साथ फैलता है जिससे आपूर्ति मोड में पंप कक्ष में द्रव पदार्थ को चूसने के लिए नकारात्मक दबाव पैदा होता है। जबकि सकारात्मक वोल्टेज डायफ्राम को नीचे की ओर ले जाता है, जिसके परिणामस्वरूप पंप मोड में अधिक दबाव के कारण निर्गम वाल्व खुल जाता है।]]
3.5x3.5x0.6 मिमी<sup>3</sup> के आयामों के साथ सबसे छोटा पीजोइलेक्ट्रिक माइक्रोपंप फ्राउनहोफर ईएमएफटी<ref>{{Cite web|url=https://www.emft.fraunhofer.de/en/mediacenter/press-briefings/micropatchpump_PI.html|title=लघुकृत सूक्ष्म पैच पंप - फ्रौनहोफर ईएमएफटी|website=Fraunhofer Research Institution for Microsystems and Solid State Technologies EMFT|language=en|access-date=2019-12-03}}</ref> द्वारा विकसित किया गया था, जो एमईएमएस और माइक्रोसिस्टम प्रौद्योगिकियों पर ध्यान केंद्रित करने वाला विश्व प्रसिद्ध अनुसंधान संगठन है। माइक्रोपंप में तीन सिलिकॉन परतें होती हैं, जिनमें से एक पंप डायाफ्राम ऊपर से पंप कक्ष को सीमित करता है, जबकि दो अन्य मध्य वाल्व चिप और नीचे वाल्व चिप का प्रतिनिधित्व करते हैं। इनलेट और आउटलेट पर निष्क्रिय फ्लैप वाल्व के उद्घाटन प्रवाह की दिशा के अनुसार उन्मुख होते हैं। पंप डायाफ्राम पीजो को एक नकारात्मक वोल्टेज के आवेदन के साथ फैलता है जिससे पंप कक्ष में तरल पदार्थ को चूसने के लिए नकारात्मक दबाव पैदा होता है। जबकि सकारात्मक वोल्टेज इसके विपरीत डायाफ्राम को नीचे चला जाता है, जिसके परिणामस्वरूप आउटलेट वाल्व खोलने और तरल पदार्थ को कक्ष से बाहर करने के लिए मजबूर किया जाता है।


<!-- Deleted image removed: [[File:Fraunhofer EMFT piezoelectric micropump. Pumping principle.gif|thumb|right|Openings of the passive flap valves at the inlet and outlet are oriented according to the flow direction. The pump diaphragm expands with application of a negative voltage to the piezo thus creating negative pressure to suck the fluid into the pump chamber in supply mode. While positive voltage drives the diaphragm down, which results in opening outlet valve due to overpressure in pump mode]] -->
<!-- Deleted image removed: [[File:Fraunhofer EMFT piezoelectric micropump. Pumping principle.gif|thumb|right|Openings of the passive flap valves at the inlet and outlet are oriented according to the flow direction. The pump diaphragm expands with application of a negative voltage to the piezo thus creating negative pressure to suck the fluid into the pump chamber in supply mode. While positive voltage drives the diaphragm down, which results in opening outlet valve due to overpressure in pump mode]] -->
वर्तमान में यांत्रिक माइक्रोपम्प तकनीक की रचना के लिए सिलिकॉन और काँच आधारित [[ माइक्रोमशीनरी ]] प्रक्रियाओं का व्यापक रूप से उपयोग करती है। सामान्य सूक्ष्मरचना प्रक्रियाओं में, निम्नलिखित तकनीकों का नाम दिया जा सकता है: प्रकाशअश्मलेखन, विषमदैशिक नक़्क़ाशी (माइक्रोफैब्रिकेशन), सतह सूक्ष्म मशीन और सिलिकॉन की थोक सूक्ष्म मशीन।<ref name=":5" />सिलिकॉन सूक्ष्म मशीन के कई फायदे हैं जो उच्च प्रदर्शन अनुप्रयोगों में व्यापक रूप से प्रौद्योगिकी की सुविधा प्रदान करते हैं, उदाहरण के लिए, दवा वितरण में।<ref name=":3" /> इस प्रकार, सिलिकॉन सूक्ष्म मशीन उच्च ज्यामितीय परिशुद्धता और दीर्घकालिक स्थिरता की अनुमति देता है, क्योंकि यांत्रिक रूप से चलने वाले हिस्से, उदा। वाल्व लोलक, पहनने और थकान का प्रदर्शन न करें। सिलिकॉन [[ पॉलीमर ]]-आधारित सामग्री जैसे [[ पॉलीडिमिथाइलसिलोक्सेन ]], PMMA, PLLA, आदि के विकल्प के रूप में बेहतर शक्ति , उन्नत संरचनात्मक गुणों, स्थिरता और सस्ता होने  के कारण उपयोग किया जा सकता है। फ्रौनहोफर EMFT में सिलिकॉन माइक्रोपंप सिलिकॉन सूक्ष्म मशीन तकनीक द्वारा निर्मित होते हैं।<ref name=":4">{{Cite book|title=गंध की पुस्तिका|last=Richter|first=Martin|publisher=Springer International Publishing|year=2017|isbn=978-3-319-26930-6|editor-last=Buettner|editor-first=Andrea|pages=1081–1097|chapter=Microdosing of Scent}}</ref> तीन [[ मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन ]]टुकड़ा (100 उन्मुख) दोनों ओर शिला लिपि द्वारा संरचित और सिलिकॉन आर्द्र नक़्क़ाशी (पोटेशियम हाइड्रॉक्साइड सॉल्यूशन KOH का उपयोग करके) द्वारा बनाए गए हैं। संरचित टुकड़ा परतों के बीच संबंध सिलिकॉन संयोजन बन्ध द्वारा महसूस किया जाता है। टुकड़ा परतों के बीच एक सीधा सिलिकॉन-सिलिकॉन बंधन करने के लिए इस बंधन तकनीक को बहुत चिकनी सतहों (0.3 एनएम से कम खुरदरापन) और बहुत उच्च तापमान (1100 डिग्री सेल्सियस तक) की आवश्यकता होती है। संबंध परत की अनुपस्थिति ऊर्ध्वाधर पंप डिजाइन मापदंडों की परिभाषा की अनुमति देती है। इसके अतिरिक्त, पंप किए गए माध्यम से संबंधित परत प्रभावित हो सकती है।
वर्तमान में, यांत्रिक माइक्रोपम्प प्रौद्योगिकी बड़े पैमाने पर निर्माण के लिए सिलिकॉन और ग्लास-आधारित [[ माइक्रोमशीनरी |माइक्रोमशीनिंग]] प्रक्रियाओं का उपयोग करती है। सामान्य माइक्रोफैब्रिकेशन प्रक्रियाओं में, निम्नलिखित तकनीकों का नाम दिया जा सकता है: फोटोलिथोग्राफी, अनिसोट्रोपिक नक़्क़ाशी, सतह माइक्रोमशीनिंग और सिलिकॉन की बल्क माइक्रोमशीनिंग।<ref name=":5" /> सिलिकॉन माइक्रोमशीनिंग के कई फायदे हैं जो उच्च-प्रदर्शन अनुप्रयोगों में प्रौद्योगिकी के व्यापक उपयोग की सुविधा प्रदान करते हैं, उदाहरण के लिए, दवा वितरण में।<ref name=":3" /> इस प्रकार, सिलिकॉन माइक्रोमशीनिंग यांत्रिक रूप से चलने वाले भागों, उदा। वाल्व फ्लैप, पहनने और थकान का प्रदर्शन नहीं करते हैं। पीडीएमएस, पीएमएमए, पीएलए, आदि जैसे सिलिकॉन [[ पॉलीमर |पॉलीमर]]-आधारित सामग्रियों के विकल्प के रूप में उनकी बेहतर शक्ति, उन्नत संरचनात्मक गुणों, स्थिरता और सस्तेपन के कारण उपयोग किया जा सकता है। फ्राउनहोफर ईएमएफटी में सिलिकॉन माइक्रोपंप सिलिकॉन माइक्रोमशीनिंग तकनीक द्वारा निर्मित होते हैं।<ref name=":4">{{Cite book|title=गंध की पुस्तिका|last=Richter|first=Martin|publisher=Springer International Publishing|year=2017|isbn=978-3-319-26930-6|editor-last=Buettner|editor-first=Andrea|pages=1081–1097|chapter=Microdosing of Scent}}</ref> तीन मोनोक्रिस्टलाइन सिलिकॉन वेफर्स (100 ओरिएंटेड) को दो तरफा लिथोग्राफी द्वारा संरचित किया जाता है और सिलिकॉन गीले नक़्क़ाशी (पोटेशियम हाइड्रॉक्साइड समाधान केओएच का उपयोग करके) द्वारा उकेरा जाता है। संरचित वेफर परतों के बीच संबंध एक सिलिकॉन संलयन बंधन द्वारा महसूस किया जाता है। इस बॉन्डिंग तकनीक को वेफर परतों के बीच एक सीधा सिलिकॉन-सिलिकॉन बॉन्ड करने के लिए बहुत चिकनी सतहों (0.3 एनएम से कम खुरदरापन) और बहुत उच्च तापमान (1100 डिग्री सेल्सियस तक) की आवश्यकता होती है। संबंध परत की अनुपस्थिति ऊर्ध्वाधर पंप डिजाइन मापदंडों की परिभाषा की अनुमति देती है। इसके अतिरिक्त, पंप किए गए माध्यम से बंधन परत प्रभावित हो सकती है।


महत्वपूर्ण प्रदर्शन संकेतक में से एक के रूप में माइक्रोपंप का संपीड़न अनुपात स्ट्रोक आयतन के बीच के अनुपात के रूप में परिभाषित किया गया है, अर्थात् पंप चक्र के दौरान पंप झिल्ली द्वारा विस्थापित द्रव की मात्रा, और मृत मात्रा, अर्थात् पंप कक्ष में पम्पिंग मोड में शेष द्रव पदार्थ न्यूनतम मात्रा ।<ref name=":2" />
महत्वपूर्ण प्रदर्शन संकेतकों में से एक के रूप में एक माइक्रोपंप का संपीड़न अनुपात स्ट्रोक वॉल्यूम के बीच अनुपात के रूप में परिभाषित किया गया है, यानी पंप चक्र के दौरान पंप झिल्ली द्वारा विस्थापित द्रव मात्रा, और मृत मात्रा, यानी न्यूनतम द्रव मात्रा शेष के लिए शेष मोड में पम्पिंग पंप कक्ष। <ref name=":2" />


<math display="inline">\varepsilon = \bigtriangleup V/ V_0</math>
<math display="inline">\varepsilon = \bigtriangleup V/ V_0</math>


संपीड़न अनुपात बुलबुला सहिष्णुता और माइक्रोपंप की पटल दबाव क्षमता को परिभाषित करता है। चैम्बर के भीतर गैस के बुलबुले माइक्रोपंप के संचालन में बाधा डालते हैं क्योंकि गैस के बुलबुले के भिगोने के गुणों के कारण पंप कक्ष में दबाव शिखर (∆P) कम हो जाता है, जबकि सतह के गुणों के कारण महत्वपूर्ण दबाव (∆P)<sub>crit</sub>) जो निष्क्रिय वाल्व खोलता है वह बढ़ता है।<ref>{{Cite journal|last1=Richter|first1=M.|last2=Linnemann|first2=R.|last3=Woias|first3=P.|date=1998-06-15|title=गैस और तरल माइक्रोपंप का मजबूत डिजाइन|journal=Sensors and Actuators A: Physical|series=Eurosensors XI|volume=68|issue=1|pages=480–486|doi=10.1016/S0924-4247(98)00053-3|issn=0924-4247}}</ref> फ्रौनहोफर EMFT माइक्रोपंप का संपीड़न अनुपात 1 के मान तक पहुंच जाता है, जिसका अर्थ है कि निर्गम दबाव की चुनौतीपूर्ण स्थितियों में भी आत्म-उपक्रामण क्षमता और बुलबुला सहिष्णुता। दाब आलंबन की विशेष पेटेंट तकनीक के परिणाम से  बड़ा संपीड़न अनुपात हासिल किया जाता है, जब दाब आलंबन के लिए उपयोग किए जाने वाले चिपकने की इलाज प्रक्रिया के दौरान दाब वैद्युत् मिट्टी का के ऊपर और नीचे इलेक्ट्रोड पर विद्युत वोल्टेज लगाया जाता है। पूर्व-विक्षेपित प्रवर्तक के साथ-साथ हल्की गढ़े हुए पंप चैंबर की ऊंचाई के परिणामस्वरूप मृत मात्रा में उल्लेखनीय कमी संपीड़न अनुपात को बढ़ाती है।
संपीड़न अनुपात बुलबुला सहिष्णुता और माइक्रोपंप की प्रति-दबाव क्षमता को परिभाषित करता है। चैंबर के भीतर गैस के बुलबुले माइक्रोपंप के संचालन में बाधा डालते हैं क्योंकि गैस के बुलबुले के डंपिंग गुणों के कारण पंप कक्ष में दबाव चोटियों (∆P)