थ्रू-सिलिकॉन वाया

इलेक्ट्रॉनिक अभियांत्रिकी में, थ्रू-सिलिकॉन थ्रू (टीएसवी) या थ्रू-चिप थ्रू वर्टिकल विद्युतीय संपर्क (वाया) है जो पूर्ण प्रकार से सिलिकॉन वेफर या डाई से होकर निकलता है। टीएसवी उच्च-प्रदर्शन इंटरकनेक्ट प्रौद्योगिकी हैं जिनका उपयोग 3डी पैकेज और 3डी एकीकृत परिपथ बनाने के लिए वायर-बॉन्ड और फ्लिप चिप्स के विकल्प के रूप में किया जाता है। पैकेज-ऑन-पैकेज जैसे विकल्पों की तुलना में, इंटरकनेक्ट और डिवाइस घनत्व अधिक है, और कनेक्शन की लंबाई अल्प हो जाती है।

वर्गीकरण
निर्माण प्रक्रिया द्वारा निर्धारित, तीन भिन्न-भिन्न प्रकार के टीएसवी उपस्थित हैं: व्यक्तिगत घटक (अवरोध, संधारित्र, प्रतिरोधक, आदि) से पूर्व थ्रू-फर्स्ट टीएसवी को बनाया जाता है (लाइन का फ्रंट एंड, फेओल ), थ्रू-मिडल टीएसवी हैं व्यक्तिगत घटक के प्रारूप के पश्चात निर्मित किन्तु धातु की परतों (बैक-एंड-ऑफ-लाइन, बीईओएल) से पूर्व, और वाया-लास्ट टीएसवी बीईओएल प्रक्रिया के पश्चात (या उस समय) निर्मित किए जाते हैं। वाया-मिडल टीएसवी वर्तमान में उन्नत 3डी आईसी के साथ-साथ इंटरपोजर स्टैक के लिए लोकप्रिय विकल्प है। ईडीए और विनिर्माण चरणों के समय फ्रंट एंड ऑफ लाइन (एफईओएल) के माध्यम से टीएसवी का सावधानीपूर्वक लेखा-जोखा रखा जाना चाहिए। ऐसा इसलिए है क्योंकि टीएसवी एफईओएल परत में थर्मो-मैकेनिकल तनाव उत्पन्न करते हैं, जिससे ट्रांजिस्टर व्यवहार प्रभावित होता है।

छवि संवेदक
सीएमओएस छवि संवेदक (सीआईएस) वॉल्यूम निर्माण में टीएसवी (एस) को अपनाने वाले पूर्व अनुप्रयोगों में से थे। प्रारंभिक सीआईएस अनुप्रयोगों में, टीएसवी छवि संवेदक वेफर के पीछे इंटरकनेक्ट बनाने, वायर बॉन्ड को समाप्त करने और अल्प फॉर्म फैक्टर और उच्च-घनत्व इंटरकनेक्ट की अनुमति देने के लिए निर्मित किये गए थे। चिप स्टैकिंग केवल बैकसाइड इलुमिनेटेड (बीएसआई) सीआईएस के आगमन के साथ ही आया, और इसमें पारंपरिक फ्रंट-साइड प्रकाश से लेंस, सर्किट्री और फोटोडायोड के क्रम को उलटना सम्मिलित था जिससे कि लेंस के माध्यम से आने वाला प्रकाश पूर्व फोटोडायोड से और फिर सर्किट्री टकराता है। यह फोटोडायोड वेफर को फ्लिप करके, बैकसाइड को पतला करके, और फिर इसे डायरेक्ट ऑक्साइड बॉन्ड का उपयोग करके रीडआउट लेयर के शीर्ष पर जोड़कर, टीएसवी के साथ परिधि के चारों ओर इंटरकनेक्ट करके पूर्ण किया गया था।

3डी पैकेज
3डी पैकेज (पैकेज में प्रणाली, मल्टी-चिप मॉड्यूल, आदि) में दो या अधिक चिप्स (एकीकृत परिपथ) लंबवत रूप से स्टैक्ड होते हैं जिससे कि वे अल्प स्थान घेरते हैं या अधिक कनेक्टिविटी रखते हैं। आईबीएम की सिलिकॉन कैरियर पैकेजिंग टेक्नोलॉजी में वैकल्पिक प्रकार का 3डी पैकेज पाया जा सकता है, जहां आईसी को स्टैक नहीं किया जाता है, किन्तु पैकेज में कई आईसी को एक साथ जोड़ने के लिए टीएसवी युक्त वाहक सब्सट्रेट का उपयोग किया जाता है। अधिकांश 3डी पैकेजों में, स्टैक्ड चिप्स को उनके किनारों के साथ साथ तारित किया जाता है; यह एज वायरिंग पैकेज की लंबाई और चौड़ाई को थोड़ा बढ़ा देती है और सामान्यतःचिप्स के मध्य अतिरिक्त "इंटरपोजर" परत की आवश्यकता होती है। कुछ नए 3डी पैकेजों में, टीएसवी चिप्स की बॉडी के माध्यम से वर्टिकल कनेक्शन बनाकर एज वायरिंग को प्रतिस्थापित करते हैं। परिणामी पैकेज में कोई अतिरिक्त लंबाई या चौड़ाई नहीं है। क्योंकि किसी इंटरपोजर की आवश्यकता नहीं है, टीएसवी 3डी पैकेज एज-वायर्ड 3डी पैकेज की तुलना में अनुनय भी कर सकता है। इस टीएसवी प्रौद्योगिकी को कभी-कभी टीएसएस (थ्रू-सिलिकॉन स्टैकिंग या थ्रू-सिलिकॉन स्टैकिंग) भी कहा जाता है।

3डी इंटीग्रेटेड परिपथ
तीन आयामी एकीकृत परिपथ (3डी आईसी) एकल एकीकृत परिपथ है जिसे सिलिकन वेफर्स और डाइज को स्टैक करके बनाया गया है और उन्हें लंबवत रूप से आपस में जोड़ा जाता है जिससे कि वे एकल उपकरण के रूप में व्यवहार करें। टीएसवी तकनीक का उपयोग करके, 3डी आईसी छोटे से "पदचिह्न" में अधिक कार्य क्षमता पैक कर सकते हैं। ढेर में विभिन्न उपकरण विषम हो सकते हैं, उदा। सीएमओएस लॉजिक, डायनेमिक रैंडम-एक्सेस मेमोरी और III-V सामग्री को ही आईसी में संयोजित करना। इसके अतिरिक्त, डिवाइस के माध्यम से महत्वपूर्ण विद्युत पथों को अधिक छोटा किया जा सकता है, जिससे तीव्रता से संचालन हो सकता है। वाइड आई/ओ 3डी द्राम मेमोरी मानक (जेडईसी जेईएसडी229) में डिज़ाइन में टीएसवी सम्मिलित है।

इतिहास
टीएसवी अवधारणा की उत्पत्ति का पता विलियम शॉक्ले के पेटेंट सेमीकंडक्टिव वेफर और 1958 में फाइल करने की विधि से लगाया जा सकता है और 1962 में प्रदान किया गया था। जिसे आईबीएम के शोधकर्ताओं मर्लिन स्मिथ और इमानुएल स्टर्न द्वारा 1964 में दायर किए गए और 1967 में प्रदान किए गए सेमीकंडक्टर वेफर्स में थ्रू-कनेक्शन बनाने के अपने पेटेंट तरीकों के साथ विकसित किया गया था। उत्तरार्द्ध सिलिकॉन के माध्यम से छेद नक़्क़ाशी के लिए विधि का वर्णन करता है। टीएसवी को मूल रूप से 3D एकीकरण के लिए डिज़ाइन नहीं किया गया था, किन्तु टीएसवी पर आधारित पूर्व 3D चिप्स का आविष्कार पश्चात में 1980 के दशक में किया गया था। 1980 के दशक में जापान में टीएसवी प्रक्रिया के साथ पूर्व त्रि-आयामी एकीकृत परिपथ (3D IC) स्टैक्ड चिप्स सेमीकंडक्टर डिवाइस का निर्माण  का आविष्कार किया गया था।  हिताची ने 1983 में जापानी पेटेंट दायर किया, उसके पश्चात 1984 में  द्रोह  ने। 1986 में, फुजित्सु ने टीएसवी का उपयोग करके स्टैक्ड चिप संरचना का वर्णन करते हुए जापानी पेटेंट दायर किया। 1989 में, तोहोकू विश्वविद्यालय के मित्सुमसा कोयोनागी ने टीएसवी के साथ वेफर-टू-वेफर बॉन्डिंग की तकनीक का बीड़ा उठाया, जिसका उपयोग उन्होंने 1989 में 3डी बड़े पैमाने पर एकीकरण चिप बनाने के लिए किया। 1999 में, जापान में एसोसिएशन ऑफ़ सुपर-एडवांस्ड इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजीज (एक सेट) ने टीएसवी तकनीक का उपयोग करके 3D IC चिप्स के विकास का वित्तपोषण प्रारंभ किया, जिसे उच्च घनत्व इलेक्ट्रॉनिक प्रणाली इंटीग्रेशन टेक्नोलॉजी प्रोजेक्ट पर R & D कहा जाता है। तोहोकू विश्वविद्यालय में कोयनागी समूह ने 1999 में तीन-परत स्टैक्ड इमेज सेंसर चिप, 2000 में तीन-परत मेमोरी चिप, 2001 में तीन-परत कृत्रिम रेटिना चिप, 2002 में तीन-परत माइक्रोप्रोसेसर बनाने के लिए टीएसवी तकनीक का उपयोग किया। 2005 में दस-परत मेमोरी चिप।

इंटर-चिप थ्रू (आईसीवी) विधि 1997 में फ्राउनहोफर सोसायटी द्वारा विकसित की गई थी–पीटर रेम, डी बोलमैन, आर ब्रौन, आर बुचनर, यू काओ-मिन्ह, मैनफ्रेड एंजेलहार्ट और अर्मिन क्लम्प सहित सीमेंस अनुसंधान दल। यह टीएसवी प्रक्रिया का रूपांतर था, और पश्चात में इसे गिरावट (ठोस तरल अंतर-प्रसार) तकनीक कहा गया। थ्रू-सिलिकॉन थ्रू (टीएसवी) शब्द को ट्रू-सी टेक्नोलॉजीज के शोधकर्ताओं सर्गेई सवास्तिओक, ओ. सिनियाग्यूइन और ई. कोर्कज़िन्स्की द्वारा गढ़ा गया था, जिन्होंने 2000 में 3D वेफर-स्तरीय पैकेजिंग  (डब्ल्यू एल.पी) समाधान के लिए टीएसवी विधि प्रस्तावित की थी। सावास्तिओक पश्चात में अल्वियाइंक. के सह-संस्थापक और सीईओ बने। शुरुआत से ही, व्यवसाय योजना के बारे में उनकी दृष्टि सिलिकॉन इंटरकनेक्ट बनाने की थी क्योंकि ये वायर बॉन्ड पर महत्वपूर्ण प्रदर्शन सुधार प्रदान करते हैं। सावास्तिओक ने सॉलिड स्टेट टेक्नोलॉजी में विषय पर दो लेख प्रकाशित किए, पूर्व जनवरी 2000 में और फिर 2010 में। पहला लेख "मूर का नियम - द जेड डायमेंशन" जनवरी 2000 में सॉलिड स्टेट टेक्नोलॉजी पत्रिका में प्रकाशित हुआ था। इस लेख ने भविष्य में 2डी चिप स्टैकिंग से वेफर लेवल स्टैकिंग में संक्रमण के रूप में टीएसवी विकास के रोडमैप को रेखांकित किया। सिलिकॉन वायस के माध्यम से शीर्षक वाले वर्गों में से में, डॉ। सर्गेई सवास्तियौक ने लिखा, "प्रौद्योगिकियों में निवेश जो वेफर-लेवल वर्टिकल मिनिएचराइजेशन (वेफर थिनिंग) और वर्टिकल इंटीग्रेशन (सिलिकॉन वायस के माध्यम से) दोनों प्रदान करता है, अच्छी समझ में आता है।" उन्होंने निरंतर रखा, "मूर के नियम से जुड़े मनमाने 2डी वैचारिक अवरोध को हटाकर, हम आईसी पैकेजों के डिजाइन, परीक्षण और निर्माण में सरलता से नया आयाम खोल सकते हैं। जब हमें इसकी सबसे अधिक आवश्यकता होती है - पोर्टेबल कंप्यूटिंग, मेमोरी कार्ड, स्मार्ट कार्ड, सेलुलर फोन और अन्य उपयोगों के लिए - हम मूर के नियम का जेड आयाम में पालन कर सकते हैं। यह पहली बार था जब किसी तकनीकी प्रकाशन में थ्रू-सिलिकॉन वाया शब्द का प्रयोग किया गया था।

2007 के समय तोशिबा, आप्टिना और एसटी माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक सहित कंपनियों द्वारा टीएसवी का उपयोग करने वाले सीएमओएस इमेज सेंसर का व्यावसायीकरण किया गया था।–2008, तोशिबा ने चिप वाया (टीसीवी) के माध्यम से अपनी तकनीक का नामकरण किया। 3डी-स्टैक्ड रैंडम एक्सेस मेमोरी  (रैम) का व्यवसायीकरण एल्पिडा मेमोरी द्वारा किया गया, जिसने पूर्व 8{{nbsp}सितंबर 2009 में गिबिबाइट गतिशील रैम चिप (चार डीडीआर3 एसडीआरएएम डाइस के साथ ढेर) और जून 2011 में इसे निरंतर किया। टीएसएमसी ने जनवरी 2010 में टीएसवी तकनीक के साथ 3डी आईसी उत्पादन की योजना की घोषणा की। 2011 में, एसके हाइनिक्स ने 16 प्रस्तुत किए{{nbsp}जीबी डीडीआर3 एसडीआरएएम (40 नैनोमीटर|40 एनएम क्लास) टीएसवी तकनीक का उपयोग करके, सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स ने 3डी-स्टैक्ड 32 प्रस्तुत किया {{nbsp}जीबी डीडीआर3 (32 नैनोमीटर|30 एनएम क्लास) सितंबर में टीएसवी पर आधारित थी, और फिर सैमसंग और  माइक्रोन प्रौद्योगिकी  ने अक्टूबर में टीएसवी-आधारित हाइब्रिड मेमोरी क्यूब (एचएमसी) तकनीक की घोषणा की। एसके हाइनिक्स ने 2013 में टीएसवी तकनीक पर आधारित पहली हाई बैंडविड्थ मेमोरी (एचबीएम) चिप का निर्माण किया।

बाहरी संबंध

 * http://realworldtech.com/page.cfm?ArticleID=RWT050207213241
 * http://www.appliedmaterials.com/technologies/library/producer-avila-pecvd
 * http://www.businesswire.com/portal/site/appliedmaterials/permalink/?dmViewId=news_view&newsId=20100712005576&newsLang=en
 * http://www.google.com/patents/US7683459
 * http://www.google.com/patents/US7633165
 * http://www.icemostech.com/ice/