45 एनएम प्रक्रिया

अर्धचालक के लिए अंतर्राष्ट्रीय प्रौद्योगिकी रोडमैप के अनुसार, 45 एनएम प्रक्रिया एमओएसएफईटी प्रौद्योगिकी नोड है जो 2007-2008 के समय सीमा के निकट निर्मित मेमोरी सेल की औसत अर्ध-पिच का संदर्भ देती है।

मात्सुशिता और इंटेल ने 2007 के अंत में बड़े स्तर पर 45 एनएम चिप्स का उत्पादन प्रारम्भ किया, और माइक्रो डिवाइसेस ने 2008 के अंत में 45 एनएम चिप्स का उत्पादन प्रारम्भ किया, जबकि आईबीएम, इन्फिनॉन, सैमसंग और चार्टर्ड अर्धचालक नोड पूर्व में ही सामान्य 45 एनएम प्रोसेस प्लेटफॉर्म पूर्ण कर लिया है। 2008 के अंत में, अर्धचालक मैन्युफैक्चरिंग इंटरनेशनल कॉर्पोरेशन (एसएमआईसी) प्रथम चीन-आधारित अर्धचालक कंपनी थी, जिसने आईबीएम से बल्क 45 एनएम प्रक्रिया को लाइसेंस प्राप्त कर 45 एनएम पर स्थानांतरित किया। 2008 में, टीएसएमसी 40 एनएम प्रक्रिया पर चला गया।

कई महत्वपूर्ण विशेषता आकार लिथोग्राफी (अर्थात, 193 एनएम और 248 एनएम) के लिए उपयोग किए जाने वाले प्रकाश की तरंग दैर्ध्य से छोटे होते हैं। उप-तरंगदैर्ध्य सुविधाओं को बनाने के लिए कई प्रकार की प्रौद्योगिकी, जैसे बड़े लेंस का उपयोग किया जाता है। सुविधाओं के मध्य दूरियों को अल्प करने में सहायता के लिए डबल पैटर्निंग भी प्रस्तुत की गई है, विशेष रूप यदि सूखी लिथोग्राफी का उपयोग किया जाता है। यह अपेक्षा की जाती है कि 45 एनएम नोड पर 193 एनएम वेवलेंथ के साथ और परतें बनाई जाएंगी। पूर्व की ढीली परतों (जैसे मेटल 4 और मेटल 5) को 248 एनएम से 193 एनएम वेवलेंथ तक ले जाना निरंतर रहने की अपेक्षा है, जो 193 एनएम फोटोरेसिस्ट के साथ कठिनाइयों के कारण व्यय को और बढ़ा सकती है।

उच्च-κ डाइइलेक्ट्रिक
रिसाव (अर्धचालक) घनत्व को कम करने के उद्देश्य से, चिप निर्माताओं ने गेट स्टैक में नई उच्च-κ डाइइलेक्ट्रिक | उच्च-κ सामग्री शुरू करने के बारे में चिंता व्यक्त की है। 2007 तक, हालांकि, आईबीएम और इंटेल दोनों ने घोषणा की है कि उनके पास उच्च-κ डाइइलेक्ट्रिक और मेटल गेट समाधान हैं, जिसे इंटेल ट्रांजिस्टर डिजाइन में मौलिक परिवर्तन मानता है। NEC ने उत्पादन में उच्च-κ सामग्री भी डाली है।

प्रौद्योगिकी डेमो
45 एनएम प्रौद्योगिकी के उत्तराधिकारी 32 एनएम प्रक्रिया हैं|32 एनएम, 22 एनएम प्रक्रिया|22 एनएम, और फिर 14 एनएम प्रक्रिया|14 एनएम प्रौद्योगिकियां।
 * 2004 में, TSMC ने 0.296-वर्ग-माइक्रोमीटर 45 एनएम स्टेटिक रैंडम एक्सेस मेमोरी सेल का प्रदर्शन किया। 2008 में, TSMC 40 एनएम प्रक्रिया पर चला गया।
 * जनवरी 2006 में, इंटेल ने 0.346-वर्ग-माइक्रोमीटर 45 एनएम नोड स्टेटिक रैंडम एक्सेस मेमोरी सेल का प्रदर्शन किया।
 * अप्रैल 2006 में, AMD ने 0.370-वर्ग-माइक्रोमीटर 45 nm SRAM सेल का प्रदर्शन किया।
 * जून 2006 में, टेक्सस उपकरण ्स ने विसर्जन लिथोग्राफी की मदद से 0.24-वर्ग-माइक्रोमीटर 45 एनएम एसआरएएम सेल की शुरुआत की।
 * नवंबर 2006 में, यूनाइटेड माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक कॉर्पोरेशन ने घोषणा की कि उसने इमर्शन लिथोग्राफी और लो-κ डाइइलेक्ट्रिक|लो-κ डाइइलेक्ट्रिक्स का उपयोग करके 0.25-स्क्वायर-माइक्रोमीटर से कम सेल आकार के साथ 45 एनएम एसआरएएम चिप विकसित की है।
 * 2006 में, सैमसंग ने 40 विकसित किया{{nbsp}एनएम प्रक्रिया।

वाणिज्यिक परिचय
मत्सुशिता इलेक्ट्रिक इंडस्ट्रियल कंपनी ने 45 पर आधारित डिजिटल उपभोक्ता उपकरणों के लिए सिस्टम- on- चिप (एसओसी) आईसी का बड़े पैमाने पर उत्पादन शुरू किया{{nbsp}एनएम प्रक्रिया प्रौद्योगिकी जून 2007 में।

इंटेल ने अपना पहला 45 भेज दिया{{nbsp}एनएम प्रोसेसर, जिओन 5400 श्रृंखला, नवंबर 2007 में।

पेरिनन के बारे में कई विवरण अप्रैल 2007 इंटेल डेवलपर फोरम में दिखाई दिए। इसके उत्तराधिकारी को नेहलेम (माइक्रोआर्किटेक्चर) कहा जाता है। महत्वपूर्ण अग्रिम नए निर्देशों को शामिल करना (SSE4 सहित, जिसे पेन्रीन न्यू इंस्ट्रक्शंस के रूप में भी जाना जाता है) और नई निर्माण सामग्री (सबसे महत्वपूर्ण रूप से हेफ़नियम-आधारित ढांकता हुआ) शामिल है।

AMD ने अपना AMD Turion#Caspian .2845 nm SOI.29, Athlon II, AMD Turion#Caspian .2845 nm SOI.29 और Phenom II (आमतौर पर प्रदर्शन के बढ़ते क्रम में), साथ ही शंघाई Opteron#Opteron .2845 nm SOI जारी किया .29 प्रोसेसर 45 का उपयोग कर रहे हैं{{nbsp}एनएम प्रक्रिया प्रौद्योगिकी 2008 के अंत में।

Xbox 360 S, जिसे 2010 में रिलीज़ किया गया था, में 45 nm प्रोसेस में फ़ैब्रिकेटेड Xenon (प्रोसेसर) प्रोसेसर है। प्लेस्टेशन 3 स्लिम मॉडल ने सेल ब्रॉडबैंड इंजन को 45 एनएम प्रक्रिया में पेश किया।

उदाहरण: इंटेल की 45 एनएम प्रक्रिया
IEDM 2007 में, Intel की 45 nm प्रक्रिया के अधिक तकनीकी विवरण सामने आए थे।

चूंकि विसर्जन लिथोग्राफी का उपयोग यहां नहीं किया जाता है, लिथोग्राफिक पैटर्निंग अधिक कठिन है। इसलिए, इस 45 एनएम प्रक्रिया के लिए स्पष्ट रूप से लाइन-कटिंग डबल पैटर्निंग विधि का उपयोग किया जाता है। इसके अलावा, गेट रिसाव के मुद्दों को संबोधित करने के लिए पहली बार उच्च-κ डाइलेक्ट्रिक डाइलेक्ट्रिक्स का उपयोग शुरू किया गया है। 32 एनएम प्रक्रिया के लिए | 32 एनएम नोड, इंटेल द्वारा विसर्जन लिथोग्राफी का उपयोग शुरू हो जाएगा।


 * 160 एनएम गेट पिच (65 एनएम पीढ़ी का 73%)
 * 200 एनएम आइसोलेशन पिच (65 एनएम जेनरेशन का 91%) ट्रांजिस्टर के बीच उथला खाई अलगाव दूरी के स्केलिंग को धीमा करने का संकेत देता है
 * डमी कॉपर मेटल और डमी गेट्स का व्यापक उपयोग
 * 35 एनएम गेट लंबाई (65 एनएम पीढ़ी के समान)
 * 1 एनएम समतुल्य ऑक्साइड मोटाई, 0.7 एनएम संक्रमण परत के साथ
 * डमी पॉलीसिलिकॉन और दमिश्क धातु गेट का उपयोग कर गेट-अंतिम प्रक्रिया
 * दूसरी फोटोरेसिस्ट कोटिंग का उपयोग करके गेट का स्क्वेरिंग समाप्त होता है
 * कार्बन-डोप्ड ऑक्साइड और स्थानीय अंतर्संबंध की 9 परतें, अंतिम मोटी पुनर्वितरण परत है
 * इंटरकनेक्ट के साथ के लिए संपर्कों को मंडलियों की तुलना में आयतों की तरह अधिक आकार दिया गया है
 * सीसा रहित पैकेजिंग
 * 1.36 mA/μm nFET ड्राइव करंट
 * 1.07 mA/μm pFET ड्राइव करंट, 65 nm पीढ़ी की तुलना में 51% तेज, एम्बेडेड SiGe स्ट्रेसर्स में 23% से 30% Ge से वृद्धि के कारण उच्च छिद्र गतिशीलता के साथ

2008 के चिपवर्क्स रिवर्स-इंजीनियरिंग में, यह खुलासा किया गया था कि ट्रेंच संपर्क स्थानीय इंटरकनेक्ट के रूप में काम करने वाले टंगस्टन में मेटल-0 परत के रूप में बनाए गए थे। अधिकांश ट्रेंच संपर्क प्रसार को कवर करने वाले फाटकों के समानांतर छोटी रेखाएँ थीं, जबकि गेट संपर्क जहाँ छोटी रेखाएँ भी फाटकों के लंबवत थीं।

इसका खुलासा हाल ही में हुआ नेहलेम (माइक्रोआर्किटेक्चर) और इंटेल परमाणु माइक्रोप्रोसेसर दोनों ने वोल्टेज स्केलिंग को बेहतर ढंग से समायोजित करने के लिए पारंपरिक छह के बजाय आठ ट्रांजिस्टर वाले स्टेटिक रैंडम एक्सेस मेमोरी सेल का इस्तेमाल किया। इसके परिणामस्वरूप 30% से अधिक का क्षेत्र जुर्माना हुआ।

45 एनएम तकनीक का उपयोग करने वाले प्रोसेसर

 * पैनासोनिक ने 2007 में 45 एनएम वीनस इंजन जारी किया। *Wolfdale (माइक्रोप्रोसेसर), Wolfdale (माइक्रोप्रोसेसर)#Wolfdale-3M|Wolfdale-3M, Yorkfield (माइक्रोप्रोसेसर), Yorkfield (माइक्रोप्रोसेसर)#Yorkfield XE और Penryn (माइक्रोप्रोसेसर) Intel प्रोसेसर Core 2 ब्रांड के तहत बेचे जाते हैं।
 * पहली पीढ़ी का Intel Core|Intel Core i3, i5 और i7 श्रृंखला के प्रोसेसर जैसे कि Clarksfield (माइक्रोप्रोसेसर), Bloomfield (माइक्रोप्रोसेसर) और Lynnfield (माइक्रोप्रोसेसर)।
 * Intel Atom#Diamondville, Intel Atom#Pineview, Intel Atom ब्रांड के तहत बेचे जाने वाले Hyper-Threading वाले Intel कोर हैं।
 * उन्नत माइक्रो डिवाइस थूबन (फेनोम II), कैलिस्टो, हेका, प्रोपस, डेनेब, ज़ोस्मा (फिनोम II) और शंघाई (ऑप्टेरॉन#ऑप्टेरॉन (45 एनएम एसओआई)) क्वाड-कोर प्रोसेसर, रेगोर (एथलॉन II) डुअल कोर प्रोसेसर [https] ://www.amd.com/us-en/0,,3715_15503,00.html?redir=45nm01], कैस्पियन (AMD Turion#Turion II Ultra) मोबाइल डुअल कोर प्रोसेसर।
 * एक्सबॉक्स 360 एस मॉडल में जेनॉन (प्रोसेसर) प्रोसेसर।
 * प्लेस्टेशन 3 में Sony/Toshiba सेल ब्रॉडबैंड इंजन#स्लिम मॉडल मॉडल - सितंबर 2009।
 * सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स S5PC110, जिसे हमिंगबर्ड के नाम से जाना जाता है।
 * टेक्सास इंस्ट्रूमेंट्स ओएमएपी 3 और 4 सीरीज।
 * IBM POWER7 और IBM z196
 * Fujitsu SPARC64 VIIIfx सीरीज
 * Wii U एस्प्रेसो (माइक्रोप्रोसेसर) IBM CPU।

बाहरी संबंध

 * Panasonic Begins Mass Production of 45-nm Generation SoC
 * Intel 45 nm process is good to go
 * Intel moving to 45nm sooner than expected?
 * Chipmakers gear up for manufacturing hurdles
 * Intel 45 nm node SRAM cell
 * An AMD Update
 * Slashdot discussion of n nm process naming
 * 45 nm Technology from Intel
 * Intel 45 nm process at IEDM