स्कैनिंग हीलियम आयन माइक्रोस्कोप

स्कैनिंग हीलियम आयन माइक्रोस्कोप (SHIM, HeIM या HIM) इमेजिंग तकनीक है जो स्कैनिंग हीलियम आयन बीम पर आधारित है। अन्य केंद्रित आयन बीम तकनीकों के समान, यह सब-नैनोमीटर रिज़ॉल्यूशन पर उनके अवलोकन के साथ मिलिंग और नमूनों को काटने की अनुमति देता है। इमेजिंग के मामले में, पारंपरिक स्कैनिंग इलेक्ट्रॉनों माइक्रोस्कोप (एसईएम) पर एसएचआईएम के कई फायदे हैं। बहुत उच्च स्रोत चमक, और हीलियम आयनों के लघु डी ब्रोगली तरंग दैर्ध्य के कारण, जो उनके संवेग के व्युत्क्रमानुपाती होता है, ऐसे गुणात्मक डेटा प्राप्त करना संभव है जो पारंपरिक सूक्ष्मदर्शी के साथ प्राप्त नहीं किया जा सकता है जो उत्सर्जक स्रोत के रूप में फोटॉन या इलेक्ट्रॉन का उपयोग करते हैं। जैसा कि हीलियम आयन बीम नमूने के साथ इंटरैक्ट करता है, यह बड़ी उत्तेजना मात्रा से ग्रस्त नहीं होता है, और इसलिए सामग्री की विस्तृत श्रृंखला पर क्षेत्र की बड़ी गहराई के साथ तेज छवियां प्रदान करता है। SEM की तुलना में, द्वितीयक इलेक्ट्रॉन उपज काफी अधिक है, जिससे धाराओं के साथ इमेजिंग के लिए 1 femtoamp जितना कम हो सकता है। डिटेक्टर सूचना-समृद्ध छवियां प्रदान करते हैं जो नमूने के स्थलाकृतिक, सामग्री, क्रिस्टलोग्राफिक और विद्युत गुणों की पेशकश करते हैं। अन्य आयन बीमों के विपरीत, हीलियम आयन के अपेक्षाकृत हल्के द्रव्यमान के कारण कोई स्पष्ट नमूना क्षति नहीं होती है। कमी लागत है।

SHIM व्यावसायिक रूप से 2007 से उपलब्ध हैं, और 0.24 नैनोमीटर के सतह विभेदन का प्रदर्शन किया गया है।

बाहरी संबंध

 * Carl Zeiss SMT – Nano Technology Systems Division: ORION He-Ion microscope
 * Microscopy Today, Volume 14, Number 04, July 2006: An Introduction to the Helium Ion Microscope
 * How New Helium Ion Microscope Measures Up – ScienceDaily