माइक्रोलिथोग्राफी

माइक्रोलिथोग्राफी किसी भी निर्माण प्रक्रिया के लिए एक सामान्य नाम है जो बाद में नक़्क़ाशी (माइक्रोफैब्रिकेशन) के दौरान इसके चयनित क्षेत्रों की रक्षा के लिए एक सब्सट्रेट, जैसे कि सिलिकॉन वेफर (इलेक्ट्रॉनिक्स) पर सुरक्षात्मक सामग्री की एक सूक्ष्म पैटर्न वाली पतली फिल्म बना सकती है। #Deposition, या आयन आरोपण संचालन। इस शब्द का प्रयोग आम तौर पर उन प्रक्रियाओं के लिए किया जाता है जो सूक्ष्म आकार की सुविधाओं जैसे कि 10 माइक्रोमीटर या उससे कम का विश्वसनीय रूप से उत्पादन कर सकते हैं। नैनोलिथोग्राफ़ी शब्द का उपयोग उन प्रक्रियाओं को निर्दिष्ट करने के लिए किया जा सकता है जो 100 नैनोमीटर से कम नैनोटेक्नोलॉजी सुविधाओं का उत्पादन कर सकती हैं।

माइक्रोलिथोग्राफी एक microfabrication  प्रक्रिया है जो सेमीकंडक्टर उद्योग में बड़े पैमाने पर उपयोग की जाती है और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक सिस्टम का निर्माण भी करती है।

प्रक्रियाएं
विशिष्ट माइक्रोलिथोग्राफी प्रक्रियाओं में शामिल हैं:


 * फोटोलिथोग्राफी एक प्रकाशसंवेदी मीटरियल फ़िल्म (photoresist) पर प्रक्षेपित प्रकाश का उपयोग करते हुए।
 * इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी, एक चलाने योग्य इलेक्ट्रॉन बीम का उपयोग करना।
 * नैनोइम्प्रिंट लिथोग्राफी
 * हस्तक्षेप लिथोग्राफी
 * मैग्नेटोलिथोग्राफी
 * स्कैनिंग जांच लिथोग्राफी
 * सरफेस-चार्ज लिथोग्राफी * विवर्तन लिथोग्राफी

ये प्रक्रियाएँ गति और लागत में भिन्न होती हैं, साथ ही साथ वे जिस सामग्री पर लागू की जा सकती हैं और उनके द्वारा उत्पादित किए जा सकने वाले फीचर आकारों की श्रेणी में भी भिन्न होती हैं। उदाहरण के लिए, जबकि फोटोलिथोग्राफी के साथ प्राप्त होने वाली सुविधाओं का आकार उपयोग किए गए प्रकाश की तरंग दैर्ध्य द्वारा सीमित होता है, यह तकनीक इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी की तुलना में काफी तेज और सरल है, जो बहुत छोटे लोगों को प्राप्त कर सकती है।

अनुप्रयोग
माइक्रोलिथोग्राफी का मुख्य अनुप्रयोग अर्धचालक निर्माण  (इलेक्ट्रॉनिक चिप्स) है, जैसे  ठोस राज्य स्मृति  | सॉलिड-स्टेट मेमोरी और माइक्रोप्रोसेसर। उनका उपयोग सूक्ष्म विवरण के साथ विवर्तन झंझरी, माइक्रोस्कोप अंशांकन ग्रिड और अन्य फ्लैट संरचनाओं को बनाने के लिए भी किया जा सकता है।

यह भी देखें

 * मुद्रित सर्किट बोर्ड