स्पिन कोटिंग

स्पिन कोटिंग फ्लैट सबस्ट्रेट (प्रिंटिंग) पर समान पतली फिल्म को जमा करने के लिए उपयोग की जाने वाली एक प्रक्रिया है। सामान्यतः पर कोटिंग सामग्री की एक छोटी मात्रा सब्सट्रेट के केंद्र पर लागू होती है, जो या तो कम गति से घूमती है या बिलकुल नहीं करती है। केन्द्रापसारक बल द्वारा कोटिंग सामग्री को फैलाने के लिए सब्सट्रेट को 10,000 आरपीएम तक की गति से घुमाया जाता है। स्पिन कोटिंग के लिए उपयोग की जाने वाली मशीन को स्पिन कोटर या एकमात्र स्पिनर कहा जाता है। जब तक फिल्म की वांछित मोटाई प्राप्त नहीं हो जाती, तब तक तरल पदार्थ सब्सट्रेट के किनारों से घूमता रहता है, तब तक रोटेशन जारी रहता है। लागू विलायक सामान्यतः पर अस्थिरता (रसायन विज्ञान), और साथ ही वाष्पीकरण होता है। कोणीय गति जितनी अधिक होगी, फिल्म उतनी ही पतली होगी। फिल्म की मोटाई भी समाधान की चिपचिपाहट और एकाग्रता, और विलायक पर निर्भर करती है। एम्सली एट अल द्वारा स्पिन कोटिंग का अग्रणी सैद्धांतिक विश्लेषण किया गया था। और बाद के कई लेखकों द्वारा विस्तारित किया गया है (विल्सन एट अल। सहित, जिन्होंने स्पिन कोटिंग में प्रसार की दर का अध्ययन किया; और दंग्लाद-फ्लोरेस एट अल।, जिन्होंने जमा फिल्म की मोटाई का अनुमान लगाने के लिए एक सार्वभौमिक विवरण पाया) था।

स्पिन कोटिंग व्यापक रूप से SOL-जेल अग्रदूतों का उपयोग करके ग्लास या सिंगल क्रिस्टल सबस्ट्रेट्स पर कार्यात्मक ऑक्साइड परतों के माइक्रोफेब्रिकेशन में उपयोग की जाती है, जहां इसका उपयोग नैनोस्केल मोटाई के साथ समान पतली फिल्मों को बनाने के लिए किया जा सकता है। फोटोलिथोग्राफी में अधिकतर 1 माइक्रोमीटर मोटी फोटोरेसिस्ट की परतों को जमा करने के लिए इसका गहनता से उपयोग किया जाता है। फोटोरेसिस्ट सामान्यतः पर 30 से 60 सेकंड के लिए प्रति सेकंड 20 से 80 चक्कर लगाता है। यह पॉलिमर से बने प्लानर फोटोनिक संरचनाओं के निर्माण के लिए भी व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।

स्पिन कोटिंग पतली फिल्म का एक लाभ फिल्म की मोटाई की एकरूपता है। सेल्फ-लेवलिंग के कारण, मोटाई 1% से अधिक भिन्न नहीं होती है। चूंकि, पॉलीमर और फोटोरेसिस्ट की स्पिन कोटिंग मोटी फिल्मों के परिणामस्वरूप अपेक्षाकृत बड़े किनारे वाले मोती हो सकते हैं जिनके प्लैनरीकरण की भौतिक सीमा होती है।

अग्रिम पठन

 * S. Middleman and A.K. Hochberg. "Process Engineering Analysis in Semiconductor Device Fabrication". McGraw-Hill, p. 313 (1993)

बाहरी संबंध

 * Spin Coating of Thin and Ultrathin Polymer Films
 * Deposition of polymer films by spin casting: A quantitative analysis