परमाणु परत का जमाव

परमाणु परत जमाव (एएलडी) पतली-फिल्म जमाव प्रक्रिया है जो गैस-प्रावस्था रासायनिक प्रक्रिया के अनुक्रमिक उपयोग पर आधारित होती है। यह रासायनिक वाष्प जमाव के उपवर्ग होते है। अधिकांश एएलडी अभिक्रियाएं दो रसायनों का उपयोग करती हैं और जिन्हें अभिकारक कहा जाता है। ये पूर्वगामी अनुक्रमिक, आत्म-सीमाकारी, प्रणाली से किसी द्रव्य-पदार्थ की पृष्ठ-सतह के साथ प्रतिक्रिया करते हैं। पतली फिल्म धीरे-धीरे अलग अग्रदूतों के बार-बार संपर्क के माध्यम से इकठ्ठा होती है। एएलडी अर्धचालक उपकरणों के निर्माण में महत्वपूर्ण प्रक्रिया होती है, और नैनो सामग्री को संश्लेषित करने के लिए उपकरणों के सेट अवयव के रूप में होती है।

परिचय
परमाणु परत के जमाव के समय फिल्म को वैकल्पिक गैसीय वर्ग सामान्यता पूर्ववर्ती या अभिकारकों के रूप में संदर्भित करने के लिए इसकी सतह को प्रदर्शित करके सब्सट्रेट पर विकसित किये जाते है। रासायनिक वाष्प जमाव के विपरीत, पूर्ववर्ती कभी भी प्रतिघातक में साथ मौजूद नहीं होते हैं, लेकिन उन्हें अनुक्रमिक, गैर-अतिव्यापी स्पंद की श्रृंखला के रूप में डाला जाता है। इन स्पंद में स्वयं को सीमित करने वाले प्रणाली से पूर्वगामी अणु सतह के साथ प्रतिक्रिया करते हैं, जिससे कि सतह पर सभी प्रतिक्रियाशील साइटों का बहुतायत करने के बाद प्रतिक्रिया समाप्त हो जाती है। परिणाम स्वरुप, सभी अग्रदूतों तथाकथित एएलडी चक्र के एकल संपर्क के बाद सतह पर जमा सामग्री की अधिकतम मात्रा अग्रदूत-सतह अंतःक्रिया की प्रकृति द्वारा निर्धारित की जाती है। चक्रों की संख्या को अलग-अलग करके सामग्री को समान रूप से और यादृच्छिक प्रणाली से जटिल और बड़े सबस्ट्रेट्स पर उच्च परिशुद्धता के साथ विकसित करना संभव होता है।

एएलडी को निक्षेपण विधि के रूप में जाना जाता है जिसमें बहुत पतली, संऔपचारिक फिल्मों के निर्माण के लिए बहुत संभावना होती है, जिसमें परमाणु स्तर पर संभव फिल्मों की स्थूलता और संरचना पर नियंत्रण रखा जाता है। मूर के नियम के अनुसार माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों को कम करने में एएलडी के लिए आधुनिक रुचि के लिए प्रमुख प्रेरणा शक्ति दिखाई देती है। एएलडी अनुसंधान के सक्रिय क्षेत्र के रूप में होती है, वैज्ञानिक साहित्य में प्रकाशित विभिन्न विधि प्रकाशित होती हैं, यद्यपि उनमें से कुछ ऐसे शैली प्रदर्शित करती हैं जो आदर्श एएलडी प्रक्रिया से भिन्न होते हैं। वर्तमान में कई विस्तृत समीक्षा लेख हैं, जिसमे प्रकाशित एएलडी प्रक्रियाओं का सारांश मिलता है, जिसमें पुरुनेन का काम भी सम्मिलित है, मिक्कुलैनेन एट अल।, नूप्स एट अल।, और मैकस एंड श्नाइडर एट अल। एएलडी प्रक्रियाओं का पारस्परिक समुदाय संचालित आकड़े कोष भी ऑनलाइन उपलब्ध है [3] जो व्याख्या की गई आवर्त सारणी के रूप में अप-टू-डेट अवलोकन को उत्पन्न करता है।

परमाणु परत जमाव, आणविक परत जमाव (एमएलडी) की सहयोगी प्रक्रिया को तब काम में ली जाती है, जब कार्बनिक अग्रदूतों का उपयोग करने की अवश्यकता समझी जाती है। एएलडी/एमएलडी प्रक्रिया को साथ मिलाकर, कई अनुप्रयोगों के लिए अति संगामी तथा शुद्ध संकर फिल्म बनाना संभव होता है।

60 के दशक
1960 के दशक में, स्टानिस्लाव कोल्टसोव ने वैलेंटाइन एलेसकोवस्की और सहयोगियों के साथ सोवियत संघ में लेनिनग्राद प्रौद्योगिकी संस्थान (एलटीआई) एएलडी के सिद्धांतों को प्रयोगात्मक रूप से विकसित किया। इसका उद्देश्य 1952 में द्विपक्षीय शोध (थीसिस) में एलेस्कोवस्की द्वारा बताई गई है, संरचना परिकल्पना के सैद्धांतिक विचारों पर प्रयोगात्मक रूप से निर्माण करना था। उपयोग धातु क्लोराइड प्रतिक्रियाओं और छिद्रित सिलिका के साथ पानी के साथ शुरू हुए, जल्द ही अन्य सब्सट्रेट सामग्री और प्लानर पतली फिल्मों तक फैल गए। एलेसकोवस्की और कोल्टसोव ने मिलकर 1965 में नई प्रक्रिया के लिए आण्विक परत नाम प्रस्तावित किया है। 1971 में कोल्टसोव के डॉक्टरेट शोध प्रोफेसर की शोध में आणविक परत के सिद्धांतों को संक्षेप में प्रस्तुत किया गया था। आणविक परत की अनुसंधान गतिविधियों में मौलिक रसायन विज्ञान अनुसंधान से लेकर छिद्रपूर्ण उत्प्रेरक, सॉर्बेंट्स और फिलर्स के साथ माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और उससे आगे के अनुप्रयुक्त अनुसंधान की व्यापक कार्यक्षेत्र को कवर किया गया है।

1974 में, फिनलैंड में इंस्ट्रूमेंटेरियम ओए में थिन-फ़िल्म इलेक्ट्रोल्यूमिनिसेंट डिस्प्ले (टीएफईएल) का विकास की शुरुआत की, तो टूमो सुनतोला ने एएलडी को एकफिंट-फिल्म प्रौद्योगिकी के रूप में योजना बनाई। सनटोला ने ग्रीक भाषा में एपिटॉक्सी के अर्थ पर आधारित परमाणु परत एपिटॉक्सी एएलई नाम दिया है।  ZnS को विकसित करने के लिए मौलिक Zn और S के साथ पहला उपयोग किए गए थे।  पतली फिल्मों के विकास के लिए साधन के रूप में एएलई को 20 से अधिक देशों में अंतरराष्ट्रीय स्तर पर पेटेंट कराया गया था सफलता तब हुई, जब सनटोला और कार्यकर्ता ने उच्च निर्वात प्रतिघातक से अक्रिय गैस प्रतिघातक में जाने लगे और, जिससे एएलई प्रक्रिया को करने के लिए धातु क्लोराइड, हाइड्रोजन सल्फाइड और जल वाष्प जैसे मिश्रित अभिकारकों का उपयोग मुमकिन हो गया। प्रौद्योगिकी का पहली बार 1980 एसआईडी सम्मेलन में किया गया था। प्रस्तुत टीएफईएल प्रदर्शन प्रोटोटाइप में दो एल्यूमीनियम ऑक्साइड ढांकता हुआ परतों के बीच ZnS परत सम्मिलित थी, जो सभी ZnCl2 H2S और AlCl3 H2O को अभिकारकों के रूप में उपयोग करते हुए ALE प्रक्रिया में बनाई गई थी। एएलई-ईएल डिस्प्ले के पहली बड़े स्तर पर साक्ष्य की अवधारणा हेलसिंकी-वंता हवाई अड्डे पर 1983 में स्थापित उड़ान सूचना बोर्ड के रूप में हुई। टीएफईएल सपाट पैनल डिस्प्ले का उत्पादन 1980 के दशक के मध्य में केजी एएलडी एमएलडी ओलारिनलूमा कारखाने में लोहजा ओय द्वारा शुरू किया गया था। 1970 के दशक में एएलई पर शैक्षणिक अनुसंधान टाम्परे प्रौद्योगिकी के हेलसिंकी विश्वविद्यालय जहां सनटोला ने इलेक्ट्रॉन भौतिकी पर व्याख्यान दिया और 1980 के दशक में हेलसिंकी प्रौद्योगिकी विश्वविद्यालय में शुरू किया। 1990 के दशक तक टीएफईएल डिस्प्ले विनिर्माण एएलई का एकमात्र औद्योगिक अनुउपयोग बना रहा। 1987 में, सुनतोला ने सूक्ष्म रसायन लिमिटेड में प्रकाश वोल्टीय उपकरणों और विषम उत्प्रेरकों जैसे नए अनुप्रयोगों के लिए एएलई प्रौद्योगिकी का विकास शुरू किया, इस उद्देश्य के लिए फिनिश राष्ट्रीय तेल कंपनी नेस्ते ओय द्वारा स्थापित किया गया था। 1990 के दशक में, सूक्ष्म रसायन में एएलई विकास अर्धचालक अनुप्रयोगों और सिलिकॉन वेफर प्रसंस्करण के लिए उपयुक्त एएलई प्रतिघातक को निर्देशित किया गया था। 1999 में, सूक्ष्म रसायन लिमिटेड और एएलडी प्रौद्योगिकी को डच एएसएम इंटरनेशनल को बेच दिया गया, जो अर्धचालक निर्माण उपकरण का प्रमुख आपूर्तिकर्ता था और सूक्ष्म रसायन लिमिटेड एएसएम की फिनिश डॉटर कंपनी के रूप में एएसएम सूक्ष्म रसायन ओय बन गई। एएसएम सूक्ष्म रसायन लिमिटेड 1990 के दशक में वाणिज्यिक एएलडी-प्रतिघातक का एकमात्र निर्माता था। 2000 के दशक की शुरुआत में, फ़िनलैंड में एएलडी प्रतिघातक पर विशेषज्ञता ने दो नए निर्माताओं, बेनेक ओए और पिकोसुन ओए को शुरू किया, बाद में 1975 के बाद से सनटोला के करीबी सहकर्मी स्वेन लिंडफ़ोर्स द्वारा शुरू किया गया। प्रतिघातक निर्माताओं की संख्या में तेजी से वृद्धि हुई और अर्धचालक अनुउपयोग औद्योगिक के सफलता बन गए। एएलडी प्रौद्योगिकी का, मूर के नियम को चालु रखने के लिए समर्थकारी प्रौद्योगिकी बन गया। 2004 में, तुओमो सुनतोला ने अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए एएलडी प्रौद्योगिकी के विकास के लिए यूरोपीय सेमी अंतर्राष्ट्रीय पुरस्कार प्राप्त किया। और 2018 में मिलेनियम प्रौद्योगिकी पुरस्कार प्राप्त किया।

एमएल और एएलई के विकासकर्ता एस्पू, फ़िनलैंड में 1990 में एटॉमिक परत एपिटॉक्सी, एएलई-1 पर पहले अंतर्राष्ट्रीय सम्मेलन में मिले थे। 2005 में वैज्ञानिक एएलडी समीक्षा लेख में आणविक परत कार्यों की सीमा को प्रदर्शित करने का प्रयास किया था और बाद में वीपीएचए से संबंधित प्रकाशनों को प्रदर्शित किया गया था।

एएलई-1 सम्मेलन, एस्पू, फ़िनलैंड में हेलसिंकी विश्वविद्यालय में मार्कू लेस्केला प्रोफेसर द्वारा सीवीडी के अनुरूप एएलई के विकल्प के रूप में पहली बार परमाणु परत जमाव नाम स्पष्ट रूप से प्रस्तावित किया था। अमेरिकन निर्वात सोसाइटी द्वारा एएलडी पर अंतर्राष्ट्रीय सम्मेलन श्रृंखला की शुरुआत के साथ नाम को सामान्य स्वीकृति प्राप्त करने में लगभग दशक का समय लग गया।

00 के दशक
2000 में, गुरतेज सिंह संधू और माइक्रोन प्रक्रिया के ट्रंग टी. डोन ने डीआरएएम (डायनेमिक रैंडम-एक्सेस मेमोरी) स्मृति उपकरणों के लिए एटॉमिक परत जमाव हाई-के फिल्मों के विकास की शुरुआत की। इसने 90 नैनोमीटर डीआरएएम से शुरू होने वाले अर्धचालक स्मृति के लागत प्रभावी कार्यान्वयन को शुरू करने में मदद की। इंटेल कॉर्पोरेशन ने अपनी 45 नैनोमीटर सीएमओएस प्रौद्योगिकी के लिए उच्च-κ गेट परावैद्युत इकठ्ठा करने के लिए एएलडी का उपयोग करने की सूचना दी।

एएलडी को एटॉमिक परत एपिटॉक्सी एएलई, फ़िनलैंड और आणविक परत एमएल, सोवियत संघ नाम से दो स्वतंत्र खोजों में विकसित किया गया है। प्रारंभिक इतिहास को स्पष्ट करने के लिए, एएलडी, वीपीएचए के इतिहास पर आभासी परियोजना 2013 की गर्मियों में स्थापित की गई है। इसके परिणामस्वरूप एएलई और एमएल के नाम से एएलडी के ऐतिहासिक विकास की समीक्षा करने वाले कई प्रकाशन हुए।

भूतल प्रतिक्रिया तंत्र
प्रोटोटाइपिकल एएलडी प्रक्रिया में, सब्सट्रेट को अनुक्रमिक, गैर-अतिव्यापी प्रणाली से दो अभिकारकों A और B के संपर्क में रहता है। रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) जैसी अन्य प्रक्रिया के विपरीत, जहां पतली-फिल्म की वृद्धि स्थिर-अवस्था के रूप में होती है, एएलडी में प्रत्येक अभिकारक सतह के साथ स्व-सीमित प्रणाली से प्रतिक्रिया करता है अभिकारक अणु केवल के साथ प्रतिक्रिया कर सकते हैं सतह पर प्रतिक्रियाशील साइटों की सीमित संख्या। बार प्रतिघातक में उन सभी साइटों का क्षय हो जाने के बाद, विकास बंद हो जाता है। शेष अभिकारक अणुओं को प्लावित किया जाता है और उसके बाद ही अभिकारक बी को प्रतिघातक में दिखाया जाता है। ए और बी के अनावरण को वैकल्पिक करके, पतली फिल्म जमा की जाती है। इस प्रक्रिया को साइड चित्र में दिखाया गया है। परिणाम स्वरुप, जब एएलडी प्रक्रिया का वर्णन किया जाता है, तो दोनों मात्रा के समय को संदर्भित करता है जब सतह को पूर्वगामी के रूप में प्रदर्शित किया जाता है और प्रत्येक पूर्वगामी के लिए कक्ष को खाली करने के लिए पूर्वगामी के लिए मात्रा के बीच बचे समय को शुद्ध करता है। द्विआधारी एएलडी प्रक्रिया का मात्रा-पर्ज-मात्रा-पर्ज अनुक्रम एएलडी चक्र का गठन करता है। इसके अलावा, विकास दर की अवधारणा का उपयोग करने के अतिरिक्त, एएलडी प्रक्रियाओं को प्रति चक्र उनकी वृद्धि के संदर्भ में वर्णित किया गया है।

एएलडी में, प्रत्येक प्रतिक्रिया प्रावस्था में पर्याप्त समय दिया जाना चाहिए इसलिये पूर्ण सोखना घनत्व प्राप्त किया जा सके। जब ऐसा होने पर प्रक्रिया संतृप्ति तक पहुंच जाती है। यह समय दो प्रमुख कारकों पर निर्भर करता है, पूर्ववर्ती दबाव और चिपके रहने की संभावना होती है।

इसलिए, सतह क्षेत्र की प्रति इकाई समुपयोजन की दर को इस प्रकार व्यक्त किया जाता है।


 * $$ {R_{abs}} = S*F$$

जहाँ R समुपयोजन की दर है, S चिपकाने की संभावना है, और F घटना दाढ़ फ्लक्स है। चूँकि, एएलडी की प्रमुख विशेषता यह है कि एस समय के साथ बदल जाता है, क्योंकि संतृप्ति होने पर शून्य के मान पर पहुंचने तक इस सतह पर अधिक अणुओं की प्रतिक्रिया होगी।।

प्रतिक्रिया तंत्र पर विशिष्ट विवरण विशेष एएलडी प्रक्रिया पर दृढ़ता से प्रक्रिया पर निर्भर करता है। ऑक्साइड, धातु, नाइट्राइड, सल्फाइड, चाकोजेनाइड्स और फ्लोराइड सामग्री को जमा करने के लिए सैकड़ों प्रक्रिया के साथ, एएलडी प्रक्रियाओं के यंत्रवत पहलुओं की खोज अनुसंधान का सक्रिय क्षेत्र है। कुछ प्रतिनिधि उदाहरण नीचे दिखाए गए हैं।

ऊष्मीय एएलडी
ऊष्मीय एएलडी को अपेक्षाकृत उच्च तापमान सामान्यता 150-350 डिग्री सेल्सियस की आवश्यकता होती है। यह सतह की प्रतिक्रियाओं के माध्यम से होती है, जो सटीक स्थूलता नियंत्रण को सक्षम बनाते है, चाहे सब्सट्रेट ज्यामिति और प्रतिघातक डिज़ाइन कोई फर्क नहीं पड़ता।

ट्राइमिथाइल एल्युमिनियम टीएमए और पानी से Al2O3 का संश्लेषण सबसे प्रसिद्ध ऊष्मीय एएलडी उदाहरणों में से है। टीएमए अनावरण के दौरान, टीएमए अलग-अलग सब्सट्रेट सतह पर रसायनयुक्त होता है और किसी भी शेष टीएमए को कक्ष से बाहर पंप किया जाता है। टीएमए का विघटनकारी रासायनिक शोषण AlCH3 से ढकी सतह को छोड़ देता है। सतह को तब H2O वाष्प के संपर्क में लाया जाता है, जो सतह CH3 के साथ प्रतिक्रिया करके CH4 को प्रतिक्रिया उपोत्पाद के रूप में बनाता है और जिसके परिणामस्वरूप हाइड्रॉक्सिलेटेड Al2O3 सतह बनती है।

प्लाज्मा एएलडी
प्लाज्मा-सहायता प्राप्त एएलडी पीए एएलडी में, प्लाज्मा वर्ग की उच्च प्रतिक्रियाशीलता फिल्म की गुणवत्ता को खराब किये बिना जमने वाले तापमान को कम करने की अनुमति देती है, साथ ही, अग्रदूतों की विस्तृत श्रृंखला का उपयोग किया जा सकता है और इस प्रकार ऊष्मीय एएलडी की तुलना में सामग्री की विस्तृत श्रृंखला जमा की जा सकती है।

फोटो-सहायता प्राप्त एएलडी
इस एएलडी किस्म में, यूवी प्रकाश सब्सट्रेट पर सतह प्रतिक्रियाओं को गति देने के लिए उपयोग किया जाता है। इसलिए प्रतिक्रिया तापमान को कम किया जाता है, जैसा कि प्लाज्मा-सहायता प्राप्त एएलडी में होता है। प्लाज्मा-सहायता प्राप्त एएलडी की तुलना में, सक्रियकरण कमजोर होता है, लेकिन तरंग दैर्ध्य, तीव्रता और प्रकाश के समय को समायोजित करके नियंत्रित करना अधिकांशता आसान होता है।

धातु एएलडी
तांबे की धातु एएलडी ने इंटरकनेक्ट एकीकृत परिपथ सामग्री (प्रशस्ति) के रूप में तांबे की मांग के कारण बहुत अधिक ध्यान आकर्षित किया है और इस प्रकार अपेक्षाकृत आसानी से तांबा को तापीय रूप से जमा किया जा सकता है। तांबे में धनात्मक मानक इलेक्ट्रोड क्षमता होती है और यह प्रथम-पंक्ति संक्रमण धातुओं में सबसे आसानी से अपचित होने वाली धातु है। इस प्रकार, कई एएलडी प्रक्रियाओं को विकसित की गई हैं, जिनमें कई हाइड्रोजन गैस को कोरएक्टेंट के रूप में उपयोग किया गया है। आदर्श रूप से, कम सतह कर्कशता के साथ निरंतर फिल्मों को प्राप्त करने के लिए तांबे की धातु एएलडी को ≤100 °C पर व्यक्त किया जाना चाहिए, चूंकि उच्च तापमान के परिणामस्वरूप जमा तांबे का संचय कर सकता है।

कुछ धातुओं को धातु हलाइड्स और सिलिकॉन प्रीकर्सर जैसे SiH4, Si2H6 को अभिकारकों के रूप में उपयोग करके फ्लोरोसिलेन उन्मूलन प्रतिक्रियाओं के माध्यम से एएलडी द्वारा विकसित किया जा सकता है। स्थिर Si-F बंधों के निर्माण के कारण ये अभिक्रियाएँ अत्यधिक उष्माक्षेपी होती हैं। फ्लोरोसिलेन उन्मूलन द्वारा निक्षेपित धातुओं में टंगस्टन और मोलिब्डेनम सम्मिलित हैं। उदाहरण के रूप में,WF6 और Si2H6 का उपयोग करके टंगस्टन धातु एएलडी के लिए सतह की प्रतिक्रियाओं को अभिकारकों के रूप में व्यक्त किया जाता है


 * WSiF2H* + WF6 → WWF5* + SiF3H
 * WF5* + Si2H6 → WSiF2H* + SiF3H + 2 H2

समग्र एएलडी प्रतिक्रिया है


 * WF6 + Si2H6 → W + SiF3H + 2 H2, ∆H = –181 kcal

विकास दर 4 से 7 Å/चक्र तक भिन्न हो सकती है, जो जमाव तापमान 177 से 325 °C और Si2H6 अभिकारक संयोग(~104 to 106 L) पर निर्भर करता है, ऐसे कारक जो Si-H बॉन्ड में Si2H6 प्रविष्टि को प्रभावित कर सकते हैं और टंगस्टन एएलडी वृद्धि में सिलिकॉन CVD योगदान के परिणामस्वरूप होती है।

कई अन्य धातुओं का ऊष्मीय एएलडी उनकी बहुत ही नकारात्मक विद्युत रासायनिक क्षमता के कारण चुनौतीपूर्ण या वर्तमान में अमुमकिन है। हाल ही में, उपन्यास मजबूत कम करने वाले एजेंटों के अनुउपयोग ने कई इलेक्ट्रोपोसिटिव धातुओं के लिए कम तापमान वाले ऊष्मीय एएलडी प्रक्रियाओं की पहली रिपोर्ट को प्रस्तुत किया है। क्रोमियम धातु को क्रोमियम एल्कोक्साइड पूर्वगामी और BH3(NHMe2) का उपयोग करके जमा किया गया था. टाइटेनियम और टिन धातुओं को उनके संबंधित धातु क्लोराइड (MCl4, M = Ti, Sn) और बीस (ट्राइमेथिलसिलील) छह-सदस्यीय रिंग कंपाउंड से बनाया गया था। एल्यूमीनियम डाइहाइड्राइड पूर्वगामी और AlCl3 का उपयोग करके एल्यूमीनियम धातु को जमा किया गया था.

उत्प्रेरक SiO$2$ एएलडी
SiO2, एएलडी के विश्वसनीय प्रणाली प्रदान करने में उत्प्रेरकों का उपयोग सर्वोपरि है। कटैलिसीस के बिना, SiO2 के गठन के लिए अग्रणी सतह प्रतिक्रियाएं आम तौर पर बहुत धीमी होती हैं और केवल असाधारण उच्च तापमान पर होती हैं। SiO2, एएलडी के लिए विशिष्ट उत्प्रेरक में लुईस बेस सम्मिलित हैं या पाइरीडीन और SiO2; एएलडी को तब भी शुरू किया जा सकता है जब ये लुईस बेस अन्य सिलिकॉन अग्रदूतों जैसे कि टेट्राएथॉक्सिसिलीन (टीईओएस) के साथ युग्मित होते हैं। माना जाता है कि लुईस बेस और SiOH* सतह वर्ग के बीच या H$2$O आधारित अभिकारक और लुईस बेस के बीच हाइड्रोजन बॉन्डिंग होती है। ऑक्सीजन मजबूत न्यूक्लियोफाइल बन जाता है जब लुईस बेस हाइड्रोजन SiOH * सतह वर्ग के साथ बंध जाता है क्योंकि SiO-H बंधन प्रभावी रूप से कमजोर हो जाता है। जैसे, SiCl4 में इलेक्ट्रोपोसिटिव Si परमाणु अभिकारक न्यूक्लियोफिलिक हमले के लिए अधिक संवेदनशील होते है। इसी तरह, लुईस बेस और H2O के बीच हाइड्रोजन बॉन्डिंग H2O में इलेक्ट्रोनगेटिव O को मजबूत न्यूक्लियोफाइल बनाती है जो मौजूदा SiCl* सतह वर्ग में Si पर हमला करने में सक्षम होती है। SiO2, एएलडी के लिए लुईस बेस उत्प्रेरक का उपयोग कमोबेश आवश्यकता है, क्योंकि लुईस बेस उत्प्रेरक के बिना, प्रतिक्रिया तापमान 325 °C से अधिक होना चाहिए और दबाव 103 से अधिक होना चाहिए। टूर आम तौर पर,SiO2, एएलडी करने के लिए सबसे अनुकूल तापमान 32 डिग्री सेल्सियस पर होता है और सामान्य जमाव दर 1.35 एंग्स्ट्रॉम प्रति बाइनरी रिएक्शन अनुक्रम है। SiO2, एएलडी के लिए दो सतह प्रतिक्रियाएं, समग्र प्रतिक्रिया, और SiO2, एएलडी में लुईस बेस कटैलिसीस का योजनाबद्ध चित्रण नीचे दिया गया है।


 * सतह पर प्राथमिक प्रतिक्रियाएं,
 * SiOH* + SiCl$4$ → SiOSiCl$3$* + एचसीएल
 * SiCl* + एच$2$हे → SiOH * + एचसीएल
 * समग्र एएलडी प्रतिक्रिया:
 * SiCl$4$ + एह$2$हे → SiO$2$ + 4 एचसीएल



माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक अनुप्रयोग
एएलडी विभिन्न विभिन्न सामग्रियों का उपयोग करके उच्च गुणवत्ता वाली फिल्म निर्माण के अलावा सटीक स्थूलता और समान सतहों का उत्पादन करने की क्षमता के कारण माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक के निर्माण के लिए उपयोगी प्रक्रिया है। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक में, एएलडी का अध्ययन इलेक्ट्रोड और इंटरकनेक्ट के लिए उच्च-κ उच्च पारगम्यता गेट ऑक्साइड, उच्च-κ स्मृति संधारित्र डाइलेक्ट्रिक्स, फेरोइलेक्ट्रिक्स, और धातु और नाइट्राइड जमा करने की संभावित प्रौद्योगिकी के रूप में किया जाता है। उच्च-κ गेट ऑक्साइड में, जहां अति पतली फिल्मों का नियंत्रण आवश्यक है, एएलडी केवल 45 एनएम प्रौद्योगिकी पर व्यापक उपयोग में आने की संभावना है। धातुकरण में, अनुरूप फिल्मों की आवश्यकता होती है; वर्तमान में यह उम्मीद की जाती है कि 65 एनएम नोड पर मुख्यधारा के उत्पादन में एएलडी का उपयोग किया जाएगा। डीआरएएमएस (डायनेमिक रैंडम एक्सेस मेमोरी) में, अनुरूपता की आवश्यकताएं और भी अधिक होती हैं और एएलडी एकमात्र प्रणाली है जिसका उपयोग तब किया जा सकता है जब फीचर आकार 100 एनएम से छोटा हो जाता है। एएलडी का उपयोग करने वाले कई उत्पादों में चुंबकीय रिकॉर्डिंग हेड्स, मॉस्फेट गेट स्टैक्स, डीआरएएम कैपेसिटर, गैर-वाष्पशील फेरोइलेक्ट्रिक यादें और कई अन्य सम्मिलित हैं।

गेट ऑक्साइड
उच्च-κ ऑक्साइड Al2O3, ZrO2, और HfO2 का निक्षेपण एएलडी के सबसे व्यापक रूप से जांचे जाने वाले क्षेत्रों में से रहा है। उच्च-κ ऑक्साइड के लिए प्रेरणा मॉस्फेट में सामान्यता इस्तेमाल किए जाने वाले SiO2 गेट डाइइलेक्ट्रिक के माध्यम से उच्च टनलिंग करंट की समस्या से आती है, जब इसे 1.0 एनएम और नीचे की स्थूलता तक घटाया जाता है। उच्च-κ ऑक्साइड के साथ, आवश्यक समाई घनत्व के लिए मोटा गेट ढांकता हुआ बनाया जा सकता है, इस प्रकार संरचना के माध्यम से टनलिंग करंट को कम किया जा सकता है।

ट्रांज़िशन-धातु नाइट्राइड
ट्रांज़िशन -धातु नाइट्राइड, जैसे टाइटेनियम नाइट्राइड और टैंटलम नाइट्राइड, बाधा धातु और धातु का द्वार दोनों के रूप में संभावित उपयोग किया जाते है। धातु अवरोधों का उपयोग आधुनिक एकीकृत परिपथों में उपयोग किए जाने वाले तांबे तांबे इंटरकनेक्ट को घेरने के लिए किया जाता है, इसलिये आसपास की सामग्री, जैसे इंसुलेटर और सिलिकॉन सब्सट्रेट में Cu के प्रसार से बचा जा सके, और साथ ही, प्रत्येक Cu इंटरकनेक्ट के आसपास इंसुलेटर से फैलने वाले तत्वों द्वारा Cu संदूषण को रोका जा सके। धातु बाधाओं की परत के साथ। धातु बाधाओं की सख्त मांगें हैं, उन्हें शुद्ध होना चाहिए; सघन; प्रवाहकीय; अनुरूप; पतला, धातुओं और इंसुलेटर के प्रति अच्छा आसंजन है। प्रक्रिया प्रौद्योगिकी से संबंधित आवश्यकताओं को एएलडी द्वारा पूरा किया जा सकता है। सबसे अधिक अध्ययन किया गया एएलडी नाइट्राइड TiN है जो TiCl4 और NH3 से जमा किया जा सकता है.

धातु फिल्में
धातु एएलडी में रुचि की प्रेरणाएँ हैं,


 * 1) Cu इंटरकनेक्ट और डब्ल्यू प्लग, या कम से कम Cu बीज परतें है डब्ल्यू सीवीडी के लिए सीयू इलेक्ट्रोडपोजिशन और डब्ल्यू बीज के लिए,
 * 2) Cu इंटरकनेक्ट बाधाओं के लिए संक्रमण-धातु नाइट्राइड (जैसे TiN, TaN, WN)
 * 3) फेरोइलेक्ट्रिक रैम (एफआरएएम) और डीआरएएम संधारित्र इलेक्ट्रोड के लिए महान धातुएं हैं,
 * 4) डुअल-गेट मॉस्फेट (मल्टीगेट डिवाइस) के लिए हाई- और लो-कार्य फलन धातु हैं,

चुंबकीय रिकॉर्डिंग हेड
चुंबकीय रिकॉर्डिंग हेड कणों को ध्रुवीकृत करने के लिए विद्युत क्षेत्रों का उपयोग करते हैं और हार्ड डिस्क पर चुंबकीय पैटर्न छोड़ते हैं। Al2O3 एएलडी का उपयोग इन्सुलेशन की समान, पतली परतें बनाने के लिए किया जाता है। एएलडी का उपयोग करके, उच्च स्तर की सटीकता के लिए इन्सुलेशन स्थूलता को नियंत्रित करना मुमकिन होता है। यह चुम्बकीय कणों के अधिक सटीक पैटर्न और इस प्रकार उच्च गुणवत्ता वाली रिकॉर्डिंग की अनुमति देता है।

डीआरएएम संधारित्र
डीआरएएम संधारित्र एएलडी का और अनुउपयोग है। व्यक्तिगत डीआरएएम सेल डेटा का बिट स्टोर कर सकता है और इसमें मॉस्फेट और संधारित्र होता है। संधारित्र के आकार को कम करने के लिए प्रमुख प्रयास किए जा रहे हैं जो अधिक स्मृति घनत्व के लिए प्रभावी रूप से अनुमति देता है। कैपेसिटेंस को प्रभावित किए बिना संधारित्र के आकार को बदलने के लिए, विभिन्न सेल अभिविन्यास का उपयोग किया जाता है। इनमें से कुछ में स्टैक्ड या ट्रेंच संधारित्र सम्मिलित हैं। ट्रेंच संधारित्र के उद्भव के साथ, इन संधारित्र के निर्माण की समस्या सामने आती है, विशेष रूप से सेमीकंडक्टर्स का आकार घटने के साथ। एएलडी ट्रेंच सुविधाओं को 100 नैनोमीटर से अधिक करने की अनुमति देता है। सामग्री की एकल परतों को जमा करने की क्षमता सामग्री पर बहुत अधिक नियंत्रण की अनुमति देती है। अपूर्ण फिल्म विकास के कुछ मुद्दों को छोड़कर मुख्य रूप से अपर्याप्त मात्रा या कम तापमान वाले सबस्ट्रेट्स के कारण, एएलडी पारद्युतिक या बैरियर जैसी पतली फिल्मों को जमा करने का प्रभावी साधन प्रदान करता है।

प्रकाश वोल्टीय अनुप्रयोग
सौर सेलों में एएलडी प्रौद्योगिकी का उपयोग समय के साथ अधिक प्रमुख होता जा रहा है। अतीत में, इसका उपयोग क्रिस्टलीय-सिलिकॉन (सी-सी) सौर कोशिकाओं में सतह निष्क्रियता परतों, तांबा इंडियम गैलियम सेलेनाइड सीआईजीएस सौर कोशिकाओं में बफर परतों और डाई-संवेदी सौर कोशिकाओं डीएसएससी में बाधा परतों को जमा करने के लिए किया जाता है। उदाहरण के लिए, सौर सेल अनुप्रयोगों के लिए एएलडी विकसित Al2O3 का उपयोग श्मिट एट अल द्वारा प्रदर्शित किया गया था। इसका उपयोग PERC निष्क्रिय उत्सर्जक और पीछे की कोशिका सौर कोशिकाओं के विकास के लिए सतह निष्क्रियता परत के रूप में किया गया था। चार्ज ट्रांसपोर्ट परत (सीटीएल) जमा करने के लिए एएलडी प्रौद्योगिकी का उपयोग पेरोव्स्काइट सौर कोशिकाओं के लिए व्यापक रूप से खोजा जा रहा है। स्थूलता पर सटीक नियंत्रण के साथ उच्च गुणवत्ता और अनुरूप फिल्मों को जमा करने की एएलडी की क्षमता सीटीएल और पेरोसाइट परत के बीच के इंटरफेस को बारीक करने में बहुत फायदा दे सकती है। इसके अलावा, यह बड़े क्षेत्रों में समान और पिन-होल मुक्त फिल्म प्राप्त करने में उपयोगी हो सकता है। ये पहलू एएलडी को पेरोसाइट सौर कोशिकाओं के प्रदर्शन को और बेहतर बनाने और स्थिर करने में आशाजनक प्रौद्योगिकी बनाते हैं।

पतली फिल्म कप्लर्स
जैसे ही फोटोनिक एकीकृत सर्किट (PICs) उभरते हैं, अधिकांशता इलेक्ट्रॉनिक इंटीग्रेटेड सर्किट के समान प्रणाली से, ऑन-चिप ऑप्टिकल डिवाइस संरचनाओं की विस्तृत विविधता की आवश्यकता होती है। उदाहरण नैनोफोटोनिक कपलर है जो ऑप्टिकल वेवगाइड्स के प्रतिच्छेदन पर माइक्रोमीटर-आकार के बीमप्लिटर के रूप में प्रक्रिया करता है। जिसमें ऑप्टिकल-गुणवत्ता इंटरफेस बनाने के लिए उच्च पहलू अनुपात दर(~100 नैनोमीटर चौड़ाई x 4 माइक्रोमीटर गहराई) को पहले नक़्क़ाशी द्वारा परिभाषित किया जाता है और फिर एएलडी द्वारा एल्यूमीनियम ऑक्साइड के साथ वापस भरा जाता है।

जैव चिकित्सा अनुप्रयोग
बायोमेडिकल उपकरणों पर सतह के गुणों को समझना और निर्दिष्ट करने में सक्षम होना बायोमेडिकल उद्योग में महत्वपूर्ण है, विशेष रूप से उन उपकरणों के संबंध में जो शरीर में प्रत्यारोपित किए जाते हैं। सामग्री अपनी सतह पर पर्यावरण के साथ संपर्क करती है, इसलिए सतह के गुण काफी हद तक सामग्री के पर्यावरण के साथ बातचीत को निर्देशित करते हैं। भूतल रसायन और सतह स्थलाकृति प्रोटीन सोखना, सेलुलर इंटरैक्शन और प्रतिरक्षा प्रतिक्रिया को प्रभावित करती है। बायोमेडिकल अनुप्रयोगों में कुछ वर्तमान उपयोगों में लचीले सेंसर बनाना, नैनोपोरस मेम्ब्रेन को संशोधित करना, पॉलिमर एएलडी, और पतली विक्षनरी बनाना सम्मिलित है, बायोकम्पैटिबल कोटिंग्स। एएलडी का उपयोग TiO जमा करने के लिए किया गया है$2$ डायग्नोस्टिक टूल के रूप में ऑप्टिकल वेवगाइड सेंसर बनाने के लिए फिल्में। इसके अलावा, एएलडी लचीले संवेदन उपकरणों को बनाने में फायदेमंद है जिनका उपयोग किया जा सकता है, उदाहरण के लिए, एथलीटों के कपड़ों में आंदोलन या हृदय गति का पता लगाने के लिए। एएलडी लचीले जैविक क्षेत्र-प्रभाव ट्रांजिस्टर (ओएफईटी) के लिए संभावित निर्माण प्रक्रिया है क्योंकि यह कम तापमान वाली जमाव विधि है। विक्षनरी: दवा वितरण, प्रत्यारोपण और ऊतक इंजीनियरिंग में बायोमेडिकल उद्योग में नैनोपोरस सामग्री उभर रही है। नैनोपोरस सामग्रियों की सतहों को संशोधित करने के लिए एएलडी का उपयोग करने का लाभ यह है कि, कई अन्य तरीकों के विपरीत, प्रतिक्रियाओं की संतृप्ति और आत्म-सीमित प्रकृति का अर्थ है कि गहराई से एम्बेडेड सतहों और इंटरफेस को समान फिल्म के साथ लेपित किया जाता है। एएलडी प्रक्रिया में नैनोपोरस सतहों के छिद्रों का आकार और भी कम हो सकता है क्योंकि अनुरूप कोटिंग छिद्रों के अंदरूनी हिस्से को पूरी तरह से कोट कर देगी। ताकना के आकार में यह कमी कुछ अनुप्रयोगों में लाभप्रद हो सकती है।

प्लास्टिक के लिए पारगम्य बाधा के रूप में
एएलडी का उपयोग प्लास्टिक के लिए पारगमन अवरोधक के रूप में किया जा सकता है। उदाहरण के लिए, यह प्लास्टिक पर ओएलईडी के एनकैप्सुलेशन के लिए विधि के रूप में अच्छी तरह से स्थापित है। एएलडी का उपयोग 3 डी प्रिंटिग|3-डी प्रिंटेड प्लास्टिक के पुर्जों को निर्वात वातावरण में इस्तेमाल करने के लिए भी किया जा सकता है। एएलडी का उपयोग रोल टू रोल प्रक्रियाओं में प्लास्टिक पर अवरोध बनाने के लिए किया जा सकता है।

गुणवत्ता और उसका नियंत्रण
एएलडी प्रक्रिया की गुणवत्ता को कई अलग-अलग इमेजिंग प्रक्रिया का उपयोग करके यह सुनिश्चित करने के लिए मॉनिटर किया जा सकता है कि एएलडी प्रक्रिया सुचारू रूप से हो रही है और सतह पर अनुरूप परत का निर्माण कर रही है। विकल्प क्रॉस-सेक्शनल स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (एसईएम) या ट्रांसमिशन इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (टीईएम) का उपयोग है। एएलडी परत की गुणवत्ता का आकलन करने के लिए छवियों का उच्च आवर्धन उचित है। एक्स-रे परावर्तकता (एक्सआरआर) ऐसी प्रौद्योगिकी है जो स्थूलता, घनत्व और सतह कर्कशता सहित पतली-फिल्म गुणों को मापती है। अन्य ऑप्टिकल गुणवत्ता मूल्यांकन उपकरण स्पेक्ट्रोस्कोपिक दीर्घवृत्त है। एएलडी द्वारा प्रत्येक परत के जमाव के बीच इसका अनुउपयोग फिल्म की विकास दर और भौतिक विशेषताओं के बारे में जानकारी प्रदान करता है। एएलडी प्रक्रिया के दौरान इस विश्लेषण उपकरण को लागू करना, जिसे कभी-कभी सीटू स्पेक्ट्रोस्कोपिक इलिप्सोमेट्री के रूप में संदर्भित किया जाता है, एएलडी प्रक्रिया के दौरान फिल्मों की विकास दर पर अधिक नियंत्रण की अनुमति देता है। इस प्रकार का गुणवत्ता नियंत्रण एएलडी प्रक्रिया के दौरान बाद में टीईएम इमेजिंग, या एक्सआरआर के रूप में फिल्मों का आकलन करने के अतिरिक्त होता है। इसके अतिरिक्त, रदरफोर्ड बैकस्कैटरिंग स्पेक्ट्रोस्कोपी (आरबीएस), एक्स - रे फ़ोटोइलैक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी (एक्सपीएस), बरमा इलेक्ट्रॉन स्पेक्ट्रोस्कोपी (एईएस), और चार-टर्मिनल संवेदन का उपयोग एएलडी द्वारा जमा की गई पतली फिल्मों के संबंध में गुणवत्ता नियंत्रण जानकारी प्रदान करने के लिए किया जा सकता है।

लाभ
एएलडी परमाणु रूप से निर्दिष्ट स्थूलता के लिए फिल्म बनाने के लिए बहुत ही नियंत्रित प्रणाली प्रदान करता है। साथ ही, विभिन्न बहुपरत संरचनाओं का विकास सीधा है। उपकरण की संवेदनशीलता और सटीकता के कारण, यह छोटे, लेकिन कुशल अर्धचालक बनाने में माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और नैनो प्रौद्योगिकी के क्षेत्र में बहुत फायदेमंद है। एएलडी में सामान्यता अपेक्षाकृत कम तापमान और उत्प्रेरक का उपयोग सम्मिलित होता है, जो थर्मोकेमिकल के अनुकूल होता है। कार्बनिक और जैविक नमूनों जैसे नरम सब्सट्रेट्स के साथ काम करते समय कम तापमान फायदेमंद होता है। कुछ पूर्वगामी जो अभी भी ऊष्मीय रूप से अस्थिर हैं, उनका उपयोग तब तक किया जा सकता है जब तक कि उनकी अपघटन दर अपेक्षाकृत धीमी हो।

नुकसान
सब्सट्रेट्स की उच्च शुद्धता बहुत महत्वपूर्ण है, और इस तरह, उच्च लागतें सुनिश्चित होंगी। चूँकि यह लागत आवश्यक उपकरणों की लागत के सापेक्ष अधिक नहीं हो सकती है, किसी को अपने वांछित उत्पाद के पक्ष में स्थितियां खोजने से पहले कई परीक्षण चलाने की आवश्यकता हो सकती है। बार परत बन जाने और प्रक्रिया पूरी हो जाने के बाद, अंतिम उत्पाद से अतिरिक्त अग्रदूतों को हटाने की आवश्यकता हो सकती है। कुछ अंतिम उत्पादों में 1% से कम अशुद्धियाँ मौजूद होती हैं।

आर्थिक व्यवहार्यता
उपकरण की गुणवत्ता और दक्षता के आधार पर परमाणु परत जमाव उपकरण कहीं भी $200,000 से $800,000 तक हो सकते हैं। इन यंत्रों का चक्र चलाने के लिए कोई निर्धारित लागत नहीं है; लागत उपयोग किए गए सबस्ट्रेट्स की गुणवत्ता और शुद्धता के साथ-साथ मशीन के संचालन के तापमान और समय के आधार पर भिन्न होती है। कुछ सब्सट्रेट दूसरों की तुलना में कम उपलब्ध हैं और विशेष परिस्थितियों की आवश्यकता होती है, क्योंकि कुछ ऑक्सीजन के प्रति बहुत संवेदनशील होते हैं और फिर अपघटन की दर बढ़ा सकते हैं। माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक उद्योग में परंपरागत रूप से आवश्यक बहुघटक ऑक्साइड और कुछ धातुएं सामान्यता लागत प्रभावी नहीं होती हैं।

प्रतिक्रिया समय
एएलडी की प्रक्रिया बहुत धीमी होती है और यह इसकी प्रमुख सीमा के रूप में जाना जाता है। उदाहरण के लिए, Al2O3 प्रति चक्र 0.11 नैनोमीटर की दर से जमा किये जाते है, जो चक्र अवधि और पम्पिंग गति के आधार पर प्रति घंटे 100–300 नैनोमीटर प्रति घंटे की औसत जमाव दर के अनुरूप हो सकता है। इस समस्या को स्थानिक एएलडी का उपयोग करके दूर किया जा सकता है, जहाँ सब्सट्रेट को विशेष एएलडी शावरहेड के नीचे क्षेत्र में ले जाया जाता है, और दोनों पूर्वगामी गैसों को गैस पर्दे/बीयरिंग द्वारा अलग किया जाता है। इस तरह, 60 नैनोमीटर प्रति मिनट की जमाव दर तक पहुंचा जा सकता है। एएलडी का उपयोग सामान्यता माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक और नैनोप्रौद्योगिकी के लिए सबस्ट्रेट्स बनाने के लिए किया जाता है, और इसलिए, मोटी परमाणु परतों की आवश्यकता नहीं होती है। कई सबस्ट्रेट्स का उपयोग उनकी नाजुकता या अशुद्धता के कारण नहीं किया जा सकता है। अशुद्धताएं सामान्यता 0.1-1% पर पाई जाती हैं क्योंकि कुछ वाहक गैसों को अवशेष छोड़ने के लिए जाना जाता है और ऑक्सीजन के प्रति संवेदनशील भी हैं।

रासायनिक सीमाएं
पूर्वगामी अस्थिर होना चाहिए, लेकिन अपघटन के अधीन नहीं होना है, क्योंकि अधिकांश पूर्वगामी ऑक्सीजन/वायु के प्रति बहुत संवेदनशील होते हैं, इस प्रकार उपयोग किए जाने वाले सबस्ट्रेट्स पर सीमा होती है। कुछ जैविक सबस्ट्रेट्स उप ताप ताप के प्रति बहुत संवेदनशील होते हैं और उनमें तेजी से अपघटन होता है जो पसंदीदा नहीं हैं और बड़े अशुद्धता स्तर पैदा करते हैं। बहुत सारी पतली-फिल्म सब्सट्रेट सामग्री की भीड़ उपलब्ध हैं, लेकिन माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक में उपयोग के लिए आवश्यक महत्वपूर्ण सबस्ट्रेट्स को प्राप्त करना कठिन हो सकता है और बहुत महंगा हो सकता है।

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