क्रायोपंप

क्रायोपंप या क्रायोजेनिक पंप एक वैक्यूम पंप है जो गैसों और वाष्प को ठंडे सतह पर संघनित करके फंसाता है, लेकिन केवल कुछ गैसों पर ही प्रभावी होता है। प्रभावशीलता क्रायोपंप के तापमान के सापेक्ष गैस के हिमांक और क्वथनांक पर निर्भर करती है। वे कभी-कभी विशेष संदूषकों को अवरुद्ध करने के लिए उपयोग किए जाते हैं, उदाहरण के लिए बैकस्ट्रीमिंग तेल को फंसाने के लिए एक प्रसार पंप के सामने, या पानी को बाहर रखने के लिए मैकलियोड गेज के सामने। इस कार्य में, उन्हें क्रायोट्रैप, वॉटरपंप या कोल्ड ट्रैप कहा जाता है, भले ही भौतिक तंत्र एक क्रायोपंप के समान हो।

क्रायोट्रैपिंग कुछ अलग प्रभाव को भी संदर्भित कर सकता है, जहां अणु वास्तव में ठंड (सुपरकूलिंग) के बिना ठंडी सतह पर अपने निवास समय को बढ़ा देंगे। सतह पर अणु के टकराने और उससे पलटने के बीच विलंब होता है। अणुओं की गति धीमी होने से गतिज ऊर्जा नष्ट हो चुकी होगी। उदाहरण के लिए, हाइड्रोजन 8 केल्विन पर संघनित नहीं होता है, लेकिन इसे क्रायोट्रैप किया जा सकता है। यह प्रभावी रूप से एक विस्तारित अवधि के लिए अणुओं को फँसाता है और इस तरह उन्हें क्रायोपम्पिंग की तरह वैक्यूम वातावरण से हटा देता है।

इतिहास
सक्रिय कार्बन में गैसों के क्रायो ट्रैपिंग पर शुरुआती प्रयोग 1874 तक किए गए थे। पहले क्रायोपंप मुख्य रूप से तरल हीलियम का उपयोग पंप को ठंडा करने के लिए करते थे, या तो एक बड़े तरल हीलियम जलाशय में, या क्रायोपंप में निरंतर प्रवाह द्वारा। हालांकि, समय के साथ अधिकांश क्रायोपंपों को गैसीय हीलियम का उपयोग करने के लिए फिर से डिजाइन किया गया, बेहतर cryocooler के आविष्कार से सक्षम। प्रमुख रेफ्रिजरेशन तकनीक की खोज 1950 के दशक में मैसाचुसेट्स स्थित कंपनी आर्थर डी. लिटिल|आर्थर डी. लिटिल इंक., विलियम ई. गिफोर्ड और हॉवर्ड ओ. मैकमोहन के दो कर्मचारियों द्वारा की गई थी। इस तकनीक को क्रायोकूलर#जीएम-रेफ्रिजरेटर|गिफोर्ड-मैकमोहन क्रायोकूलर के रूप में जाना जाने लगा।   1970 के दशक में, गिफोर्ड-मैकमोहन क्रायोकूलर का उपयोग हेलिक्स टेक्नोलॉजी कॉरपोरेशन और इसकी सहायक कंपनी क्रायोजेनिक टेक्नोलॉजी इंक द्वारा एक वैक्यूम पंप बनाने के लिए किया गया था। 1976 में, आईबीएम के एकीकृत सर्किट के निर्माण में क्रायोपंप का उपयोग किया जाने लगा। 1981 में हेलिक्स और यूएलवीएसी (जेपी: アルバック) द्वारा संयुक्त रूप से स्थापित क्रायोजेनिक्स कंपनी जैसे विस्तार के साथ दुनिया भर में सेमीकंडक्टर निर्माण में क्रायोपंप का उपयोग आम हो गया।

ऑपरेशन
क्रायोपंप को आमतौर पर संपीड़ित हीलियम द्वारा ठंडा किया जाता है, हालांकि वे शुष्क बर्फ, तरल नाइट्रोजन या स्टैंड-अलोन संस्करणों का उपयोग भी कर सकते हैं जिनमें एक अंतर्निहित क्रायोकूलर शामिल हो सकता है। संक्षेपण के लिए उपलब्ध सतह क्षेत्र का विस्तार करने के लिए बैफल्स अक्सर ठंडे सिर से जुड़े होते हैं, लेकिन ये क्रायोपंप के विकिरण संबंधी ताप को भी बढ़ाते हैं। समय के साथ, सतह अंततः घनीभूत हो जाती है और इस प्रकार पंपिंग गति धीरे-धीरे शून्य हो जाती है। जब तक यह ठंडा रहता है, तब तक यह फंसी हुई गैसों को रोके रखेगा, लेकिन जब तक इसे पुनर्जीवित नहीं किया जाता है, तब तक यह लीक या बैकस्ट्रीमिंग से ताजी गैसों को संघनित नहीं करेगा। कम वैक्यूम में संतृप्ति बहुत जल्दी होती है, इसलिए क्रायोपंप आमतौर पर केवल उच्च या अल्ट्राहाई वैक्यूम सिस्टम में उपयोग किए जाते हैं।

क्रायोपंप 10 में सभी गैसों का तेज, स्वच्छ पम्पिंग प्रदान करता है-3 से 10 तक−9 टोर रेंज। क्रायोपंप इस सिद्धांत पर काम करता है कि गैसों को संघनित किया जा सकता है और उच्च गति और थ्रूपुट प्राप्त करने के लिए बेहद कम वाष्प दबावों पर आयोजित किया जा सकता है। कोल्ड हेड में दो चरणों वाला कोल्ड हेड सिलिंडर (वैक्यूम वेसल का हिस्सा) और एक ड्राइव यूनिट डिसप्लेसर असेंबली होती है। ये एक साथ तापमान पर बंद-चक्र प्रशीतन का उत्पादन करते हैं, जो पहले चरण के ठंडे स्टेशन के लिए 60 से 80K से दूसरे चरण के ठंडे स्टेशन के लिए 10 से 20K तक होता है, आमतौर पर।

कुछ क्रायोपंप में विभिन्न कम तापमान पर कई चरण होते हैं, जिसमें बाहरी चरण सबसे ठंडे आंतरिक चरणों को बचाते हैं। बाहरी चरण पानी और तेल जैसे उच्च क्वथनांक गैसों को संघनित करते हैं, इस प्रकार नाइट्रोजन जैसे कम क्वथनांक गैसों के लिए सतह क्षेत्र और आंतरिक चरणों की प्रशीतन क्षमता को बचाते हैं।

सूखी बर्फ, तरल नाइट्रोजन, फिर संपीडित हीलियम, कम आणविक-भार वाली गैसों का उपयोग करने पर ठंडा तापमान कम हो जाता है। नाइट्रोजन, हीलियम और हाइड्रोजन को फंसाने के लिए बेहद कम तापमान (~10K) और बड़े सतह क्षेत्र की आवश्यकता होती है जैसा कि नीचे वर्णित है। इस तापमान पर भी, हल्की गैसों हीलियम और हाइड्रोजन में फँसाने की क्षमता बहुत कम होती है और अल्ट्रा-हाई वैक्यूम सिस्टम में प्रमुख अणु होते हैं।

क्रायोपंप को अक्सर अत्यधिक सोखने वाली सामग्री जैसे कि सक्रिय चारकोल या ज़ीइलाइट के साथ ठंडे सिर को कोटिंग करके सोखने वाले पंप के साथ जोड़ा जाता है। जैसे ही शर्बत संतृप्त होता है, एक सोर्प्शन पंप की प्रभावशीलता कम हो जाती है, लेकिन जिओलाइट सामग्री (अधिमानतः कम दबाव की स्थिति में) को गर्म करके इसे फिर से भरने के लिए रिचार्ज किया जा सकता है। जिओलाइट सामग्री की झरझरा संरचना का ब्रेकडाउन तापमान उस अधिकतम तापमान को सीमित कर सकता है जिस तक पुनर्जनन के लिए इसे गर्म किया जा सकता है।

सोखना पंप एक प्रकार का क्रायोपंप है जिसे अक्सर वायुमंडलीय की सीमा से दबाव को कम करने के लिए 0.1 पास्कल (यूनिट) (10) के क्रम में दबाव कम करने के लिए रफिंग पंप के रूप में उपयोग किया जाता है।-3 Torr), जबकि एक फिनिशिंग पंप (खालीपन देखें) का उपयोग करके कम दबाव प्राप्त किए जाते हैं।

पुनर्जनन
क्रायोपंप का पुनर्जनन फंसी हुई गैसों को वाष्पित करने की प्रक्रिया है। पुनर्जनन चक्र के दौरान, क्रायोपंप को कमरे के तापमान या उससे अधिक तक गर्म किया जाता है, जिससे फंसे हुए गैसों को ठोस अवस्था से गैसीय अवस्था में बदलने की अनुमति मिलती है और इस तरह क्रायोपंप से दबाव राहत वाल्व के माध्यम से वातावरण में छोड़ा जाता है।

क्रायोपंप का उपयोग करने वाले अधिकांश उत्पादन उपकरण में क्रायोपंप को निर्वात कक्ष से अलग करने का एक साधन होता है, इसलिए निर्वात प्रणाली को जल वाष्प जैसे जारी किए गए गैसों को उजागर किए बिना पुनर्जनन होता है। मोनोलेयर गठन और हाइड्रोजन बॉन्डिंग के कारण वातावरण के संपर्क में आने पर निर्वात कक्ष की दीवारों से निकालने के लिए जल वाष्प सबसे कठिन प्राकृतिक तत्व है। सूखे नाइट्रोजन पर्ज-गैस में गर्मी जोड़ने से वार्म-अप में तेजी आएगी और पुनर्जनन समय कम होगा।

जब पुनर्जनन पूरा हो जाता है, तो क्रायोपंप को 50μm (50 मिलीटॉर या μmHg) तक खुरदरा कर दिया जाएगा, अलग कर दिया जाएगा, और पूर्ण पुनर्जनन के परीक्षण के लिए दर-वृद्धि (ROR) की निगरानी की जाएगी। यदि ROR 10μm/min से अधिक हो जाता है तो क्रायोपंप को अतिरिक्त पर्ज समय की आवश्यकता होगी।

संदर्भ

 * , Chapter 3
 * , Chapter 3