माइक्रोऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम

माइक्रोऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एमओईएमएस), जिसे ऑप्टिकल एमईएमएस के रूप में भी जाना जाता है, मैकेनिकल, ऑप्टिकल और इलेक्ट्रिकल सिस्टम का एकीकरण है जिसमें बहुत छोटे आकार में ऑप्टिकल सिग्नल को सेंसिंग या हेरफेर करना शामिल है। एमओईएमएस में विभिन्न प्रकार के उपकरण शामिल हैं, उदाहरण के लिए ऑप्टिकल स्विच, ऑप्टिकल क्रॉस-कनेक्ट, ट्यून करने योग्य वर्टिकल-कैविटी सरफेस-एमिटिंग लेजर, माइक्रोब्लोमीटर इन उपकरणों को आमतौर पर सिलिकॉन, सिलिकॉन डाइऑक्साइड, सिलिकॉन नाइट्राइड और गैलियम आर्सेनाइड जैसी सामग्रियों का उपयोग करके माइक्रो-ऑप्टिक्स और मानक माइक्रोमशीनिंग तकनीकों का उपयोग करके बनाया जाता है।

प्रौद्योगिकियों का विलय
माइक्रोऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम # MOEMS का इतिहास, माइक्रोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम और माइक्रो-ऑप्टिकल। ये दोनों प्रौद्योगिकियां स्वतंत्र रूप से एकीकृत सर्किट के समान बैच प्रसंस्करण में शामिल हैं, और माइक्रोसेंसर के निर्माण के समान माइक्रोमशीनिंग।

एमईएमएस के विकास के समानांतर और इससे भी पहले, सेंसर तकनीक माइक्रोसेंसर के लिए उन्नत हुई और माइक्रोएक्चुएटर्स के साथ जुड़ गई। माइक्रोसेंसर और माइक्रोएक्चुएटर्स का विकास भी माइक्रोमशीनिंग की एक मातृ प्रौद्योगिकी के कारण हुआ। उच्च तकनीक में आज हमारे पास जो कुछ भी है, उसकी जड़ माइक्रोमशीनिंग है। इस तकनीक को इतिहास में कभी भी श्रेय नहीं दिया गया क्योंकि यह योग्य थी। 1960 के दशक के दौरान स्विट्ज़रलैंड में माइक्रोमशीनिंग सिलिकॉन की तुलना में कठिन परिमाण के माइक्रोमशीनिंग क्वार्ट्ज ऑर्डर के लिए इसका व्यावसायिक रूप से उपयोग किया गया था। 1980 के दशक के दौरान एमईएमएस परिवर्णी शब्द इतना शक्तिशाली था कि बिना किसी विकल्प के माइक्रोसेंसर और माइक्रोएक्चुएटर्स जिसमें माइक्रोमशीनिंग शामिल थी, सभी एमईएमएस में शामिल हो गए।

MOEMS का इतिहास
1991-1993 के दौरान, माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक सिस्टम और माइक्रो प्रकाशिकी  दोनों के क्षेत्रों में एक पूर्व रॉकवेल इंटरनेशनल इनोवेटर डॉ. एम. एडवर्ड मोटामेडी ने आंतरिक रूप से माइक्रोऑप्टोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम के लिए एमओईएमएस के परिवर्णी शब्द का इस्तेमाल किया। यह ऑप्टिकल एमईएमएस और एमओईएमएस के बीच अंतर करने के लिए था, जहां ऑप्टिकल एमईएमएस में बल्क ऑप्टिक्स शामिल हो सकते हैं लेकिन एमओईएमएस सही मायने में माइक्रोटेक्नोलॉजी पर आधारित है जहां एमओईएमएस उपकरणों को बिल्कुल एकीकृत सर्किट की तरह बैच-प्रोसेस किया जाता है, लेकिन ऑप्टिकल एमईएमएस के लिए ज्यादातर मामलों में यह सच नहीं है।

1993 में, डॉ. मोतामेदी ने आधिकारिक तौर पर पहली बार MOEMS की शुरुआत की, सैन डिएगो में SPIE क्रिटिकल रिव्यूज़ ऑफ़ ऑप्टिकल साइंस एंड टेक्नोलॉजी कॉन्फ्रेंस में एक आमंत्रित वार्ता में MEMS और माइक्रो-ऑप्टिक्स के शक्तिशाली संयोजन के रूप में। इस वार्ता में डॉ. मोतामेदी ने यह दर्शाने के लिए कि एमओईएमएस तीन प्रमुख सूक्ष्मप्रौद्योगिकियों की परस्पर क्रिया है, नीचे दिए गए चित्र का परिचय दिया; अर्थात् माइक्रो-ऑप्टिक्स, माइक्रोमैकेनिक्स और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक।

यह भी देखें

 * माइक्रोऑप्टोमैकेनिकल सिस्टम
 * नैनोइलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम
 * माइक्रोफैब्रिकेशन
 * सूक्ष्मदर्शी

ग्रन्थसूची

 * P. Rai-Choudhury (editor), MEMS and MOEMS. Technology and applications, SPIE Press, Washington, 2000.
 * Optical MEMS: From micromirrors to complex systems, IEEE Journal of Microelectromechanical Systems (2014)